판매용 중고 NIKON NSR 2205 i12D #9243243

NIKON NSR 2205 i12D
ID: 9243243
Stepper Lamp power: 650~700 Uniformity: Less than 2%.
NIKON NSR 2205 i12D 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 비용 효율적이고 신뢰할 수 있으며 스마트 리소그래피 기술을 제공하도록 설계된 고급 반도체 리소그래피 도구입니다. 스캐닝 (step-scanning) 및 다중 파장 조명 (multi-wavength illumination) 기능을 활용하여 다양한 어플리케이션에서 뛰어난 해상도와 뛰어난 성능을 제공합니다. 빠르고 정확하게 생산할 수 있도록 설계된 NIKON NSR-2205I12D (Fully Automated In-Line 장비) 는 직관적인 인터페이스와 최적화된 워크플로우를 갖추고 있습니다. 스테퍼에는 12 인치 포토 리토 그래피 스테퍼 (photolithography stepper) 가 있으며 노출 시간이 짧아 전체 패턴 정확도와 반복 가능성이 가장 높습니다. 또한, 스테퍼는 최대한의 처리량을 제공하는 고급 웨이퍼 로더 및 운송 시스템을 갖추고 있으며, 최고 수준의 18 초 생산 주기를 제공하여 20 개의 웨이퍼를 완전히로드합니다. NSR-2205I 12D는 뛰어난 해상도와 균일성도 제공합니다. 스테퍼는 스캐닝 스텝 크기가 5 - 20 µm 인 20 nm의 높은 해상도와 최고의 이미징 품질을 위해 0.2% 의 비 균일 계수를 갖습니다. 또한 평균 0.2 nm RMS로 뛰어난 라인 에지 거칠기를 제공합니다. NSR 2205 i12D는 또한 뛰어난 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 임베디드 인-다이 (in-die) 타겟 값과 모니터링 기능을 통해 프로세스 성능의 신속한 변화와 지속적인 재처리 기능을 제공합니다. 또한 스캐너 기반 및 임베디드 정렬, 레이저 인코더, 저휘발성 개발자, 전자 프로브 마이크로 분석 시스템 (electron-probe microanalysis system) 을 포함하여 균형 잡힌 옵션을 제공합니다. NSR 2205 I12 D는 혹독한 운영 환경에서 내구성을 발휘하도록 설계되었습니다. 이 제품은 신뢰성이 높은 석판화 장치 (lithography unit) 를 갖춘 견고한 챔버 디자인으로 최소 수명은 15,000 시간입니다. 또한 정확한 반복 가능성을 보장하는 주파수 제어 머신이 있습니다. NIKON NSR 2205 I 12 D는 또한 연중무휴 24시간 고객 서비스를 통해 뛰어난 사용자 지원을 제공합니다. 또한 사용자의 특정 운영 요구에 맞는 다양한 옵션을 제공합니다 (영문). 고급 기능, 정교한 디자인, 뛰어난 고객 서비스를 갖춘 NIKON NSR 2205 I12 D는 반도체 어플리케이션을 위한 비용 효율적이고 안정적인 선택입니다. 탁월한 성능, 비용 절감, 처리량 향상, 전반적인 고품질 이미지를 제공합니다.
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