판매용 중고 NIKON NSR 2205 i12D #9238335
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 9238335
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
Steppers, 8"
Lamp power: About 500 mW
Uniformity: 3.6%
NA Variable system: 0.63 δ
Reticle size, 6"
Fixed reticle microscope
Maximum field size: 22 x 22 mm
Reticle SMIF
Extender library: Left to right
Reticle case, 6"
Wafer type: Notch
Wafer chuck, 8"
Wafer chuck type: Ring
Pre alignment 2: Notch, 8"
Pre alignment 2: Hammer, 6"
Wafer loader: Type 3
Chip leveling
In-line: Left
Wafer carrier table: Left / Right
Alignment sensor: FIA (No wafer alignment assist microscope / LSA)
Rack type: Normal
Body-OP rack cable: 3m (Normal)
No wafer edge exposure
SHRINC: Type 1, 2, 3
No signal tower
No power meter / Test reticles (A,DIS,C,CD,MF)
No reticle cases
No remote controller
Chamber: ASAHI
Chamber temperature: 23.0°C
Hard disk drive (HDD)
Electric source with NEMA box 2-Lines for CVCF / UPS
1997 vintage.
NIKON NSR 2205 i12D 는 고급 Device 제조업체의 요구 사항을 충족하도록 설계된 고성능 스캔/노출 장비입니다. NSR 시리즈의 최신 모델은 고정밀 (high-precision) 조정과 정확한 반복 가능한 노출이 가능하도록 설계되었습니다. 새로 설계된 광학 시스템과 내장 ASMLL ® 모터 및 인코더 인터페이스를 사용하여 NIKON NSR-2205I12D는 반복 가능한 높은 성능과 탁월한 처리량을 제공합니다. NSR-2205I 12D는 최대 12 인치 직경의 웨이퍼를 노출 할 수 있으며, 숫자 조리개 (NA) 는 0.6이며, 해상도가 향상되고 shot-to-shot 반복성이 ± 0.5äm입니다. 정밀도 및 신뢰성 향상을 위해 장치는 계단 학생이있는 회절 제한 수치 렌즈 머신 (diffraction-limited numerical lens machine) 을 사용하여 최대 균일 성을 위해 왜곡, 광학 수차 및 렌즈 플레어를 제거합니다. 또한, 고급 활성 정렬 도구는 0.25 마이크로 미터의 정확도로 최대 295,000 개의 정렬 포인트를 수행하므로 완벽한 장치 정렬을 제공합니다. 에셋은 또한 NIKON 특허 '욕조' 제어 모델을 사용하여 렌즈 온도, 필름 두께 및 패턴 정확도와 같은 다양한 요소를 제어합니다. NSR 2205 i12D 의 추가 기능으로는 자동 초점 기능, 자동 조정 기능, 고대비 모니터 (고대비 모니터) 등이 있으며, 이 모니터는 웨이퍼 검사 및 정렬 시 향상된 시청 창을 제공합니다. 또한 NSR-2205I12D 는 강력한 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖추고 있어 다양한 노출/조정 옵션 중에서 손쉽게 선택할 수 있습니다. 또한 입자 오류 (particle error) 와 초점 변화 (focus variation) 와 같은 일반적인 오류 세트로 설계되어 장비를 손쉽게 보상, 조정할 수 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 NIKON NSR-2205I 12D 는 정확하고 빠른 처리량을 요구하는 Device 제조업체에 이상적인 선택이 됩니다. 뛰어난 성능과 사용자 친화적 인 인터페이스는이 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 를 시장에서 최고의 제품으로 만듭니다.
아직 리뷰가 없습니다