판매용 중고 NIKON NSR 2205 i12D #9092552

NIKON NSR 2205 i12D는 고정밀 패턴화 시스템과 뛰어난 생산성을 갖춘 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. NIKON NSR-2205I12D는 '하향식' 및 '다중 게이트' 패턴 기술을 사용하는 고급 이미징 스테퍼로, IC 장치 및 회로 보드와 같은 광범위한 애플리케이션에 적합합니다. 여러 필드 크기를 특징으로하는이 스테퍼는 UTG (Ultra Thin Glas) 및 TG (Thin Glass) 에서 낮은 조명 기판까지 광범위한 기판을 지원합니다. 가변 슬릿 (variable slit) 너비 생성 기능은 선 너비의 높은 정확도 패턴과 최대 0.3 m의 깊이와 함께 정확한 노출을 제공합니다. 웨이퍼 스테퍼에는 렌즈 2 개와 미러 8 개로 구성된 고성능 프로젝션 광학 시스템이 장착되어 있습니다. 이 시스템은 빠르고, 부드럽고, 배치 정확도가 우수하도록 설계되었습니다. 또한 단일 필드 기술에 비해 시간이 적고 작업이 적은 이중 필드 패턴화를 지원합니다. 또한 NSR-2205I 12D 는 패터닝 성능 지원 및 FOUP 처리 기능을 갖춘 고급 제어 시스템을 자랑하며, 최고 수준의 처리량을 보장하는 고속 45nm 스캔 단계를 제공합니다. 또한 패턴 데이터 시각화 (pattern data visualization) 를 통해 기판 균일성을 단순하고 신뢰할 수 있습니다. 또한, 광범위한 사전 정렬, 정렬 및 검토 기능을 제공합니다. NIKON NSR-2205 I12 D의 추가 기능에는 300mm 스테이지, 로딩 프레임 간격 160mm, 초당 최대 포지셔닝 속도 15,000 단계 및 최대 정확도 ± 1jm가 포함됩니다. 또한 웨이퍼 스테퍼에는 자동 중심 (auto-centering) 이 장착되어 기판이 항상 노출되도록 정확하게 배치되어 있습니다. NSR 2205 I 12 D 는 광범위한 운영 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며, 고정밀도 패턴화를 위해 향상된 생산성, 효율성 및 정확성을 제공합니다. 이 스테퍼는 고평가 듀얼 필드 패턴화 기능을 갖추고 있으며, 마이크로프로세서에서 하드 디스크 드라이브, MEMS 및 LED 제작에 이르는 다양한 어플리케이션에 적합합니다.