판매용 중고 NIKON NSR 2205 i12D #293606678

NIKON NSR 2205 i12D 웨이퍼 스테퍼는 최고 수준의 성능과 안정성을 위해 설계된 고급 석판 장비입니다. 이 시스템은 독점적인 I-Line 및 DUV 조명 기술을 활용하여 고급 웨이퍼 제작을 위한 미드필드 해상도, 높은 처리량, 극한의 정확성을 제공합니다. 이 스테퍼는 전체 프로세스 단계에서 최적의 리소그래피 성능을 보장하기 위해 고필드 해상도 (High-Field Resolution) 와 고동적 범위 (High-Dynamic Range) 이미징을 모두 제공합니다. 조명 장치의 디자인은 독점 탐지기 디자인과 함께 IR 레이저 (IR Laser) 및 광대역 조명 (Broadband Illumination) 을 사용하여 전체 노출 광 플럭스 범위에서 균일 한 이미징을 제공합니다. 특허를 받은 레이저 설계 및 특수 광학 접근 방식은 DUV 및 i-Line 이미징의 파장 오류 및 초점 오류를 최소화합니다. 스테퍼의 통합 설계를 통해 완전하게 자동화된 웨이퍼 스테핑 프로세스가 가능합니다. CCD 제어 아키텍처는 I-Line 4 사분면 투영기를 통해 웨이퍼 변위를 정확하게 제어하여 높은 처리량을 보장합니다. 두 개의 컨트롤러, 통합 EDB 보드 및 내장 보상 소프트웨어를 사용하면 낮은 입자 조건과 높은 추적 정확도를 보장할 수 있습니다. 이 스테퍼는 다양한 패턴 유형 (pattern-type) 기능을 제공하는 다목적 디자인을 통해 다양한 웨이퍼 (wafer) 재료 및 처리 레시피와 호환됩니다. 공구에서는 수차 교정 (aberration correction) 과 최적화된 광선 플럭스 제어 에셋 (light flux control asset) 으로 고효율 렌즈 디자인을 사용하여 모서리 배치 정확성을 보장함으로써 I-Line 처리가 가능합니다. 또한이 모델은 고밀도, 풀 필드 리소그래피 프로세스를 지원하고 자동 초점 알고리즘을 사용하여 높은 정렬 정확도를 지원할 수 있습니다. NIKON NSR-2205I12D 웨이퍼 스테퍼에는 안티 정적 기술, 질소 주입, 안전한 작동을위한 인터 락 등 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 사전 예방적 장애 감지 (Predictive Failure Detection) 및 엔드 스톱 (End-Stop) 장비는 스테퍼와 해당 부품이 손상되지 않도록 보호합니다. 결론적으로 NSR-2205I 12D 웨이퍼 스테퍼는 고급 석판 성능, 높은 동적 범위 이미징 및 다양한 패턴 유형 호환성을 제공합니다. 통합 디자인은 높은 처리량, 낮은 입자 작동 및 높은 정렬 정확도를 제공합니다. 게다가, 질소 주입 및 정전기 방지 기술 (anti-static technology) 을 포함한 안전 기능은 시스템 및 그 구성 요소에 대한 추가 보호 기능을 제공합니다.