판매용 중고 NIKON NSR 2205 i12D #293601857
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ID: 293601857
i-Line stepper
Resolution: 0.35 µm
UDOF: ≥ 0.6 µm
CD Uniformity: ≤ 50 nm
Focus calibration repeatability: 3 Sigma ≤ 0.1 µm
Lens distortion: Within ±50 nm
Maximum area: 22 x 22 mm
Reticle blind setting accuracy: 0.4 to 0.8 mm
Exposure power: ≥ 600 mW / cm²
Integrated exposure control: Within ±1%
Illumination uniformity: Within 1%
Reticle rotation: Within 20 nm
Absolute value
Repeatability
Overlay accuracy:
ISA-EGA: 3 Sigma ≤ 65 nm
FIA-EGA: 3 Sigma ≤ 65 nm
Array orthogonality: Within ±0.1 sec
Stepping precision: 3 Sigma ≤ 50 µm
Operational test: 99.5% Success rate
Wafer system: 100% Success rate
Reticle
Wafer pre alignment: 3 Sigma ≤ 15 µm
Focus stability: ≤ 0.6 µm
Magnification error: Within 15 nm
Stepping rate: 27 sec
Throughput:
ISA-EGA: 25 min 25 sec / less
FIA-EGA: 30 min 25 sec / less
INC: ±0.35 µm
Astigmatism total focus deviation 0.35 µm L and S: ≤ 0.3 µm
Field curvature: ≤ 0.3 µm
Chip leveling accuracy: Within ±1.5 sec.
NIKON NSR 2205 i12D 스테핑 장비는 고급 고해상도 웨이퍼 스테퍼의 최신 NIKON 라인업입니다. 전례 없는 수준의 기능을 제공하는 이 시스템은 고해상도 (High Resolution) 처리량과 고밀도 (High-Precision) 스테퍼 장치를 결합한 제품입니다. 고급 리소그래피 프로세스 요구를 위해 설계된 이 스테퍼는 독보적 인 12 인치 스캔 종횡비 (SAR) 를 특징으로하며, 최대 5 미크론 해상도에서 높은 수준의 정확성과 반복 성을 갖춘 이미징 패턴을 생성 할 수 있습니다. NIKON NSR-2205I12D 스테핑 머신은 고정밀 렌즈, 고급 옵틱, 고급 조명 디자인이 통합된 고급 NIKON 독점 렌즈 기술 패키지로 뛰어난 이미징 정확도, 반복성, 처리량 속도를 제공할 수 있습니다. 고급 복합 소재 (Advanced Composite Materials) 를 사용하면 견고하고 반복 가능한 스캐닝 및 웨이퍼 홀딩 기능을 제공하여 다양한 스캐닝 크기로 시간당 최대 15,000 회 노출 (exposure) 을 처리할 수 있습니다. 또한, NSR-2205I 12D 는 사용자를 염두에 두고 설계되어 고급/친숙한 툴로 사용할 수 있습니다. 단순하고, 사용자에게 친숙한 인터페이스 자산과, 향상된 운영자 인체공학을 통해 사용자 생산성과 사용 편의성을 향상시킬 수 있습니다. NSR 2205 I12 D는 또한 고수율 프로세스를 염두에두고 설계되었습니다. 첨단 이미징 제어 시스템, 최첨단 리소그래피 (Lithography) 프로세스 제어 기술을 통해 이미징 프로세스를 효율적이고 경제적으로 관리할 수 있습니다. 또한 NSR-2205I12D 는 고급 웨이퍼 처리 (wafer handling) 기술을 통해 Si 웨이퍼 (Si wafer) 와 같은 거친 서피스가있는 웨이퍼를 올바르게 처리하여 생산량을 극대화할 수 있도록 지원합니다. 또한 고정밀 도량형 시스템 제품군과 함께 제공되어 리소그래피 (lithography) 프로세스를 완전히 제어합니다. 마지막으로, NIKON NSR 2205 I12 D에는 다양한 고급 기능 (예: 자동 정렬 기능, 광범위한 기판 및 재료를 처리할 수 있는 기능) 이 장착되어 있어 최상위 Wafer-processing 애플리케이션에 적합합니다. 전체적으로, NSR-2205 I12 D는 석판 처리 처리량과 정확도를 극대화하려는 사람들에게 적합한 선택입니다. 고급 기능 (Advanced Features) 과 기능을 갖춘 이 제품은 안정적이고, 정확하며, 견고성 강화 (Rugged) 된 모델로, 모든 하이엔드 스캐닝 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
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