판매용 중고 NIKON NSR 2205 i12C #9379646
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ID: 9379646
i-Line stepper, 6"
Chamber temperature: 23°C
Chamber type: S16
NA Variable system
Reticle, 6"
Fixed reticle microscope
Maximum field: 22 mm
Reticle loader: Standard, 13-Slots
Reticle case: Standard, 6"
Pre alignment-2
Wafer loader: Type II
Chip leveling
Wafer carrier table: Left, right
Alignment sensor: LSA, FIA
Body-OP Ruck cable: 3 m
Rack type: Right
Lamp power: 2000 W
SHRINC Type 3 Illumination
Wafer holder flatness: ≤2.5 μm / 200 mm
Field inclination: Within 0.35 μm
Leveling setting accuracy: Within ±1.5 sec
Lens distortion: ≤±0.50 µm
Reticle blind setting accuracy: 0. 4mm - 0.8mm
Exposure power: ≥700 mW/cm²
Illumination uniformity: ≤±1.5%
Integrated exposure dose control: ≤±1.0%
Array orthogonality: Within ±0.1 sec
Reticle rotation: |M|+3σ ≤20 nm
Stepping accuracy: 3σ ≤45 nm
No wafer edge exposure
No signal tower
No PPD
No reticle barcode reader
No extend R-library
No In-line
Overlay:
LSA: |M|+3σ ≤75 nm
FIA: |M|+3σ ≤75 nm
Accuracy: ±55 nm
Wafer pre-alignment repeatability:
X, Y, θ: 3σ ≤ 15 μm
Y-θ: 3σ ≤ 20 μm
Resolution: 0.45 μm
Magnification: 5:1
Depth of focus: 2.00 μm
Exposure wavelength: 365 nm
1997 vintage.
NIKON NSR 2205 i12C는 서브 미크론 패턴화 정확성과 빠른 노출 시간을 제공하는 웨이퍼 스테퍼입니다. 최대 노출 필드 크기는 12 인치 (305mm) 이고 최대 웨이퍼 직경은 8 인치 (200mm) 입니다. 광학은 0.63의 수치 조리개 (NA) 를 가지며 최대 분해능을 가능하게합니다. 홍채 셔터가 장착 된 고급 UV 광원은 0.5 mJ에서 ± 0.5%, 최대 13 mJ/cm ² 의 정확도를 가진 사용자 선택 가능 노출 에너지를 제공합니다. NIKON NSR-2205I12C 는 모든 주요 레지스트 (resist) 자료에 대해 개발 및 검증 조건을 포함하여 다양한 프로세스 소프트웨어 드라이버 (process software driver) 중에서 선택할 수 있도록 하여 다양한 사용자 요구 사항을 지원하도록 설계되었습니다. 노출에 필요한 프로세스 레시피는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 사용하여 관리할 수 있습니다. 또한 사용이 간편한 검사 도구를 사용하면 장비 (MAPS) 에 의해 자동화된 비축 (off-axis) 통합 높이, 너비, iso-or-resists 측정으로 스티치 (stitched) 및 영역 노출을 모두 검사하고 모니터링할 수 있습니다. 웨이퍼 스테이지 시스템은 노출 중 매우 정확한 멀티 필드 스티칭 및 감소 된 스테이지 진동을 제공합니다. 또한, 단순한 설계를 통해 소모품에 쉽게 액세스 할 수 있으며, 유지 보수 및 구성 요소 변경 작업을 간편하게 수행할 수 있습니다. 이 장치에는 처리량이 많은 자동 웨이퍼 정렬 머신도 있습니다. 전반적으로, NSR 2205 i12C 웨이퍼 스테퍼는 사용자가 하위 미크론 패턴화 정확도를 쉽고 빠르게 달성 할 수있는 고급 스테퍼입니다. 이 제품은 프로세스 레시피, 간편한 유지 관리, 자동화된 웨이퍼 정렬 툴 (Wafer Alignment Tool) 을 관리하는 고성능, 직관적인 방법을 제공합니다. 고급 UV 광원 및 홍채 셔터 강화기 (iris shutter enhancer) 와 같은 다른 기능은이 자산이 가장 까다로운 석판화 응용 분야에 적합합니다.
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