판매용 중고 NIKON NSR 2205 i12C #293817941
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ID: 293817941
i-Line stepper
Numerical Aperture (NA): 0.57
Resolution: 450 nm
DCO: 55
Throughput (WPH): 70.
NIKON NSR 2205 i12C는 차세대 리소그래피 프로세스를 위해 특별히 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 옵틱 (optic) 과 정밀 웨이퍼 (precision wafer) 이동을 특징으로하는이 도구는 고해상도 리소그래피를 0.10 m의 고해상도로 사용할 수 있도록 설계되었습니다. NIKON NSR-2205I12C 는 매우 정확도가 높아 와퍼 (wafer) 의 패턴을 매우 단단한 선 너비와 간격으로 향상시킵니다. 이 스테퍼에는 고속 데이터 수집 (high-speed data acquisition) 장비와 빠른 스캐닝 속도가 장착되어 있어 처리 시간이 크게 단축됩니다. NSR 2205 i12C는 백라이밍 리소그래피에서 사진 전자 이미징에 이르기까지 다양한 프로세스에 사용할 수 있습니다. 스테퍼는 IC (Integrated Circuit) 리소그래피 프로세스를 사용하여 장치의 수율과 신뢰성을 높입니다. 전체 웨이퍼에 균일 한 조명을 제공하는 I 라인 조명 시스템 (I-line lumination system) 이 포함되어 있어 웨이퍼 크기에 관계없이 일관된 노출 품질을 제공합니다. NSR-2205I12C 는 또한 특화된 Optics Module (Optics Module) 을 제공합니다. 이 모듈은 정확한 스테퍼 광학으로 인해 왜곡되지 않은 균일 한 노출 필드를 제공합니다. 이를 통해 최대 0.10m까지 완전한 단계 및 반복 패턴 기능을 사용할 수 있습니다. 또한, 스테퍼는 다양한 유형의 기판을 수용하도록 optics base, speed 및 acceleration을 자동으로 조정 할 수 있습니다. 이것은 큰 표면 기판을 스캔 할 때에도 뛰어난 성능을 보장합니다. 또한 NIKON NSR 2205 i12C 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 에는 고정밀 마찰이없는 웨이퍼 스테이지가 장착되어 웨이퍼에 기계적 손상을 입히지 않고도 베이스에 웨이퍼를 정확하게 배치합니다. 또한 최적의 웨이퍼 포지셔닝, 프로세스 정확성 및 전체 웨이퍼 (wafer) 구조의 균일성을 향상시키는 매우 정확한 웨이퍼 정렬이 특징입니다. 마지막으로, NIKON NSR-2205I12C 는 완전 자동 제어 장치 (Full-Automatic Control Unit) 를 사용하여 도구를 쉽게 모니터링하고 제어할 수 있습니다. "스테퍼 '에는 촉각 의 실수 를 제거 하는 믿을 만한 기계식 기계 가 포함 되어 있는데, 이것 은 생산량 을 향상 시키면서 생산량 을 크게 향상 시킬 수 있다. NSR 2205 i12C 역시 신뢰성이 높으며, 차원 정확도가 가장 중요한 복잡한 애플리케이션에 적합합니다.
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