판매용 중고 NIKON NSR 2205 i12 #9271191
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NIKON NSR 2205 i12 Wafer Stepper는 NIKON이 디자인 한 전문 웨퍼 스테퍼 장치입니다. 레티클 (reticle) 생산 프로세스를 촉진하는 데 필요한 리소그래피 정확성과 처리량으로 설계되었습니다. 이 장치는 고급 석판화 기술 및 기계 제어를 제공하여 생산성을 극대화합니다. NSR 2205 i12 Wafer Stepper는 통합 MLS (Multi-Light Source Technology) 를 사용하여 탁월한 수준의 정확성, 정확성 및 반복 성을 제공합니다. 높은 처리량, 높은 정확도의 노출 성능을 제공하며, 미크론 (sub-micron) 수준까지 해상도가 낮아 광범위한 디바이스 생산 기능을 제공합니다. NIKON NSR 2205 i12 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 맞춤형 구성 레이저 경로와 새로 개발 된 이중 레벨 정렬 장비의 결과로 안정적인 빔 스팟 (beam spot) 과 모든 노출 지점에서 균일 한 초점을 갖습니다. 그것의 MLS 기능은 빠른 노출 속도와 우수한 동질성을 결합하여, 노출 과정의 정확성과 반복성을 보장합니다. 이 장치는 또한 혁신적인 석판화 시스템 (lithography system) 과 자동 작업 전송 설정 (job transfer setup) 을 통해 생산 프로세스를 단순화하고 효율성을 극대화합니다. 또한 IMS (Integrated Measurement Unit) 는 고급 패턴 모니터링 및 제어를 제공합니다. 또한이 장치에는 OCR 지원, 미러 보정, BLAD 보정, 이중 노출 오프셋/정밀 제어 등의 다양한 고급 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 모든 기능은 생산에 소요되는 시간과 노력을 절감하는 동시에, 높은 수준의 노출 (exposure) 을 유지하기 위해 설계되었습니다. 이 장치는 에너지 효율 (energy efficient) 으로 설계되었으며 같은 클래스의 다른 웨이퍼 스텝퍼 (wafer stepper) 에 비해 에너지 소비량이 상당히 적습니다. 또한 직관적인 사용자 인터페이스와 적은 설치 공간 (low-footprint) 을 갖춘 인체 공학적 설계를 제공하여 번거로운 설치 작업을 수행할 수 있습니다. 또한 NSR 2205 i12 Wafer Stepper에는 우수한 성능과 연장 수명을 제공하는 고급 유지 보수 (maintenance-defense) 디자인이 장착되어 있습니다. NIKON NSR 2205 i12 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 고급 MLS 기술, 통합 측정 시스템 (Integrated Measurement Machine) 및 노출 제어를 지원하는 기타 직관적인 기능을 갖춘 다양한 디바이스 생산에 적합합니다. 탁월한 성능, 에너지 효율, 신뢰성을 제공하여 매번 높은 품질의 노출을 보장합니다.
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