판매용 중고 NIKON NSR 2205 i12 #293606914

NIKON NSR 2205 i12는 사용자에게 최고 수준의 광학 석판화 성능을 제공하도록 설계된 고정밀도, 12 인치 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 모델은 UV 기반 i-line 광원과 최대 8 "x 10" 의 필드 크기가있는 반도체 장치 제조를 위해 특별히 설계되었습니다. 2205 i12는 H-APO (High Accuracy Parallel Optical) 기술을 활용하여 빠르고 안정적인 정렬 성능을 제공하는 고속, 고정밀 이미징 장비를 갖추고 있습니다. 이를 통해 기계는 웨이퍼 표면에 마스크 패턴을 정확하게 배치 할 수 있으며, 반복 가능성은 최대 0.2 미크론 (0.2 미크론) 입니다. 이 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 단일 노출에서 상단 및 하단 조명을 제공하는 광학, 이미지 대비를 조정하고 임계 치수 변화를 줄이기 위한 계단 너비 조명을 포함하여 특수 조명 기능을 제공합니다. 또한 낮은 전자기 간섭 (electromagnetic interference) 과 진동 수준 (vbration level) 덕분에 정렬 및 스캔 작업 전반에 걸쳐 안정적이고 신뢰할 수있는 이미징이 있습니다. 이 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 고급 자동 적응 기능을 사용하여 밝은/어두운 위상과 명암의 균형을 조정하여 최적의 이미징 결과를 제공합니다. 또한 개선 된 M-EMRS (Multi-Energy Mask Reference System) 기술을 사용하여 더 안정적인 노출 조건으로 이미징 프로세스를 개선합니다. NSR 2205 i12 는 또한 자동 용량 제어 (auto dose control) 및 고급 DENS 버전 모듈 (advanced DENS version module) 을 포함하여 다양한 고급 장치 기능을 제공하므로 반도체 디바이스 제조 프로세스의 처리량을 향상시킵니다. 또한, 섬세한 영역 가장자리에 의도하지 않은 손상을 방지하여 가공소재를 안전하게 유지하는 새로운 헤드 파이 (head-PI) 보호 머신을 갖추고 있습니다. 전반적으로 NIKON NSR 2205 i12 는 뛰어난 성능, 간편한 운영, 향상된 프로세스 처리량을 제공하는 매우 다양하고 신뢰할 수 있는 웨이퍼 스테퍼입니다. 다양한 고급 반도체 소자 제조 공정을 위한 최적의 리소그래피 (lithography) 성능을 제공하도록 설계되었습니다.