판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #9383687

NIKON NSR 2205 i11D는 photolithography 목적으로 사용되는 잘 알려진 웨이퍼 스테퍼입니다. 반도체 파운드리 (foundries) 와 미세조작 (microfabrication) 에 사용할 수있는 가장 진보된 생산 도구 중 하나입니다. 이 장치에는 듀얼 챔버 디자인과 최첨단 옵틱이 장착되어 있으며, 최대 1/2m 의 고사양 해상도를 보장합니다. NIKON NSR-2205I11D에는 고도의 정밀 웨이퍼 배치 정확도를 지원하는 고급 자동 정렬 (auto-alignment) 기능이 장착되어 있습니다. 또한 빠른 웨이퍼 교환과 오버레이 오류 최소화를 허용합니다. 또한, 이 도구에는 변화하는 환경에서 리소그래피 성능을 안정화하는 데 도움이 되는 주변 보상 기능이 있습니다. 이 장치에는 전체 필드 정확도를 제공하는 인라인 광역 레이저 간섭계가 장착되어 있습니다. 또한 마이크로픽셀 주소 지정 가능 모니터 (micro-pixel addressable monitor) 를 사용하여 시간에 따른 패턴화 결과의 변화를 진단하고 모니터링할 수 있습니다. 이 장치는 또한 여러 개의 레티클을 실행할 수 있으며, 단일 레이어 (single-layer) 및 이중 레이어 (double-layer) 프로세스 실행에 모두 사용할 수 있습니다. 장치의 LED는 초점 링을 갖추고 있으며, 동종 조명을 위해 조명을 0.25 mW/cm2로 조정할 수 있습니다. 이 가벼운 엔진은 뛰어난 균일성과 최대 5äm의 작은 필드 크기를 제공합니다. 광원은 목표 에너지의 ± 0.6% 내에서 작동 할 수 있으므로 패턴 오류 최소화 (patterning error) 와 수직 스텝 높이 오류 (vertical step height error) 의 위험을 없앨 수 있습니다. NSR 2205I11D 는 최신 ESEDRF (Enhanced Spectrum Emission Diffraction Reduction Filter) 기술을 활용하여 이미지 품질을 향상시키고 초점 깊이를 높입니다. 이 장치는 또한 고유한 크로스 필드 수정 소프트웨어 (crossfield correction software) 를 사용하여 전송된 패턴을 같은 방향과 깊이 (depth of field) 로 재정렬할 수 있습니다. 전반적으로 NSR 2205 I11 D는 전기적, 광전자 집적 회로 생산에 이상적인, 고급적이고 강력한 웨이퍼 스테퍼입니다. 가장 까다로운 석판화 및 마이크로 패브라이션 요구 사항에 완벽한 선택입니다.