판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #9364624

NIKON NSR 2205 i11D Wafer Stepper는 반도체 산업을 위해 다양한 기능을 제공하는 정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 스테퍼의 최대 웨이퍼 두께는 0.3mm, 중복은 0.25mm의 12 "자동 웨이퍼 크기가 200mm ~ 300mm입니다. 이 장비는 스톡커에 통합 된 동력 N2/O2 발전기로 구성된 고해상도 비전 (vision) 을 갖추고 있으며 공기 베어링 스테이지가 있습니다. 또한 멀티 디자인 어플리케이션을 처리할 수 있으며, 웨이퍼에 적용된 N2/O2 보호, 난방 기능, 레이저 마크 등이 있습니다. NIKON NSR-2205I11D Wafer Stepper는 듀얼 CCD 카메라를 통해 뛰어난 이미지 픽업 정밀도와 고해상도 이미징 기능을 제공합니다. 독점 이미지 픽업 장치는 2 개의 2048 x 2048 픽셀 CCD 카메라를 사용하여 0.2 마이크로미터 이상의 뛰어난 명암비, 컬러 정밀도 및 해상도를 제공합니다. 또한 회전 (turn rotation) 을 허용하여 웨이퍼의 앞면과 뒷면을 동시에 이미징할 수 있습니다. NSR 2205I11D 웨이퍼 스테퍼에는 고정밀 정렬 시스템도 함께 제공됩니다. 이 도구는 듀얼 카메라 자산에서 5 개의 광 마커에 총 8 개의 등록을, 1mm 등록 지점에서 0.11 마이크로 미터의 정확도를 갖습니다. 이 모델은 또한 다양한 필드 크기에 걸쳐 정확한 측정을 보장하는 독특한 광학 설계 (optical design) 를 가지고 있습니다. NIKON NSR-2205 I 11 D 웨이퍼 스테퍼에는 고정밀 노출 장비도 있습니다. 이 시스템은 고성능 셔터/검출기 (shutter/detector) 메커니즘을 가지고 있으며 혁신적인 조명 기술을 통합하여 노출 조사와 레이어 두께의 균일성을 적절히 보장합니다. 이 장치는 또한 최대 이미지 정확도를 보장하는 긴 수명 셔터를 제공합니다. NSR-2205 I 11 D 웨이퍼 스테퍼에는 고정밀 프로젝션 시스템도 포함되어 있습니다. 이 도구에는 5 구역 조명 미러가 장착되어 있으며 0.6에서 0.9까지 5 개의 다른 숫자 조리개가 가능합니다. 자산은 정확한 초점 및 난시 보상을 위해 서브 미크론 해상도를 가진 3 개의 축 모두를 미세하게 조정하는 등 6 축 조정이 있습니다. 전반적으로 NSR 2205I 11D Wafer Stepper는 뛰어난 이미지 픽업, 웨이퍼 정렬, 노출 및 투사 기능을 제공하는 매우 정확한 모델입니다. 이 장비는 초박형 기판에서 미크론 수준의 패턴을 생산하고, 고급 반도체 소자와 부품의 효율적인 생산을 가능하게 하는 데 이상적입니다.