판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #9364623

NIKON NSR 2205 i11D는 고급 리소그래피 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 완전 자동 웨이퍼 처리 시스템 (Full-Automatic Wafer Handling System) 과 향상된 광학 장치 (Optical Unit) 를 통해 노출 중 정확도와 정밀도를 높입니다. NIKON NSR-2205I11D 는 다양한 디바이스 및 프로세스 조건 (종횡비 기능이 높은 대규모 디바이스) 을 손쉽게 처리할 수 있습니다. NSR 2205I11D는 고급 리소그래피 응용 프로그램을 위해 업데이트된 광학 시스템 설계를 제공합니다. 이 도구에는 높은 NA 조명뿐만 아니라 자동 초점 (autofocus) 및 자동 정렬 (autoalign) 기능이 있어 미세 정렬과 매우 정확한 노출이 보장됩니다. 이 자산은 또한 초점 (focus) 의 확장된 깊이와 초점 (focus) 및 왜곡 (distortion) 수정 (correction) 을 통해 사용자가 예측 가능한 장치 결과를 얻을 수 있도록 합니다. 또한, 이 모델에는 다양한 레이아웃 조건에서 리소그래피 (lithography) 의 정확성을 유지하기 위해 고급 오버레이 제어 장비가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 전체 자동 웨이퍼 처리 장치 (Fully-Automatic Wafer Handling Unit) 를 제공하여 처리량을 향상시키고 수동 웨이퍼 처리와 관련된 가동 중지 시간을 줄입니다. NSR-2205 I11D에는 한 번에 최대 40 개의 웨이퍼를 처리 할 수있는 통합 로봇 암 (robotic arm) 이 있으며, 각 웨이퍼는 처리량을 늘리기 위해 여러 번 노출됩니다. 또한 MicroSpot 기술을 사용하여 웨이퍼 렌즈 수차를 줄일 수 있습니다. NIKON NSR 2205I 11D 는 인쇄 해상도 (최고 0.1 유도) 와 높은 공정 위도 (고해상도) 및 다양한 노출 동적 범위 (고해상도) 를 제공합니다. 이 기계에는 폐쇄 루프 (closed-loop) 노출 및 과도한 노출 제어를 제공하는 정교한 프로세스 제어 도구가 있습니다. 자산에는 프로세스 무결성을 보장하고 수익률 최적화를 촉진하는 웨이퍼 레벨 (wafer level) 도량형 모델이 장착되어 있습니다. NIKON NSR-2205 I 11 D는 고급 석판화 응용 프로그램을 매우 정확하게 인쇄하는 데 이상적인 솔루션입니다. 이 장비의 기능은 최적의 노출 정확성, 반복성, 높은 처리량을 보장합니다. 이 시스템은 또한 다양한 프로세스 조건에서 성능을 극대화할 수 있는 유연성 (Flexibility) 과 확장성 (Extensibility) 을 제공하도록 설계되었습니다. NIKON NSR 2205 I 11 D는 고급 리소그래피 응용 프로그램을 위한 완벽한 선택입니다.