판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #9361850
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ID: 9361850
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 1997
Stepper, 4"
Wafer type: Flat
Chamber type: Sendai S09
Altitude: Sea level
Lens type: 5IB5
Resolution: 0.35 Micron
Computer type: VAX 4000/90
Expansion unit:
Floppy Disk Drive (FDD), 3.5"
Data type
External Hard Disk Drive (HDD)
Reticle size: 6"
Illuminator type: 1750 W
Moveable NA: 0.50 to 0.63
LLTC
Reticle libraries
PPD
Bar code reader
(2) Wafer loader indexers
Wafer loader type: Type 2
Wafer loader pre-alignment 2
Wafer loader in-line: Left
FIA
LSA
SRA
VRA
FC2
Chip leveling
Auto focus 5-points
Ceramic chuck type: 3-Pin rings
No movable microscopes
No shrinc
1997 vintage.
NIKON NSR 2205 i11D는 반도체 리소그래피의 최적의 처리량을 위해 설계된 고성능 자동 웨이퍼 스테퍼입니다. 다양한 컴퓨터 플랫폼 및 원격 액세스를 위한 다양한 고급 이더넷 (Ethernet) 및 RS422 인터페이스 (Interface) 를 통해 지원됩니다. 이동성이 뛰어난 NIKON NSR-2205I11D는 단일 기판 또는 전체 웨이퍼의 고해상도 이미징, 고속 스티칭, 하위 미크론 등록, 오버레이 및 임계 치수 (CD) 제어가 필요한 다양한 어플리케이션에 적합합니다. NSR 2205I11D 의 첨단 멀티 축 (multi-axis) 모션 컨트롤 기술과 고도로 개발된 스테이지 설계는 모든 모션 축에서 정확하고 반복 가능한 위치를 보장하며, 최적의 생산성과 비용 효율성을 제공합니다. 높은 처리량, 집중력 (focus of focus) 을 통해 소형 기판 및 대형 기판의 이미징에 이상적인 플랫폼이 됩니다. NIKON NSS 2205 i11D 마이크로 렌즈 시스템의 다중 계층 설계는 높은 수치 조리개에서 최적의 해상도를 가능하게 하며, 뛰어난 해상도와 뛰어난 필드 균일성을 제공합니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 모든 매개변수에 대한 편리한 액세스를 제공하여 작업을 쉽게 설정하고 실행할 수 있습니다. NSR 2205 I11 D는 온보드 Gigapler Series 6600 이미지 프로세서로 구동되며, 빠른 이미지 측정, 최대 처리량 및 뛰어난 이미지 품질을 제공합니다. 이 프로세서는 NIKON OptiScanHigh 기술에 의해 더욱 보완되어 밀도 높은 기능을 측정하는 데 있어 탁월한 정확성을 제공합니다. 산업 자동화를 위해, 고성능 NIKON NSR-2205 I 11 D는 이더넷, RS422를 포함한 최신 통신 프로토콜을 지원하므로, 광범위한 애플리케이션을 구현할 수 있는 안정적인 플랫폼입니다. 또한, 시스템을 PLC 및 PC 제어가 가능하며, 사용자 지정 기능을 위한 옵션으로 모터와 도킹 가능한 웨이퍼 척을 사용할 수 있습니다. NIKON NSR-2205 I11 D는 쉽고 효율적인 리소그래피를 위해 다양한 고급 기능을 제공합니다. 직관적인 사용자 인터페이스와 강력한 성능으로 인해 모든 석판화 (lithographic) 어플리케이션에서 신뢰할 수 있는 선택이 가능합니다.
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