판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #9300309

NIKON NSR 2205 i11D 웨이퍼 스테퍼는 고정밀 리소그래피를 위해 설계된 고급 이미징 장비입니다. 이 시스템은 서브 미크론 해상도 (sub-micron resolution) 를 생산할 수 있으며, 다양한 생산 공정에서 사용할 수있는 매우 다양한 설계를 갖추고 있습니다. 이 최첨단 장치는 고성능 이미징 특성과 신뢰성이 뛰어난 작동을 제공합니다. NIKON NSR-2205I11D는 13 인치 크기의 큰 필드 크기를 특징으로하여 기계가 직경 200mm까지의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 고해상도, 고해상도 이미징에 이상적인 NIKON CFI60 옵티컬 렌즈가 장착되어 있습니다. 또한 모서리 인식 및 인접한 다이 (dies) 의 자동 정렬이 포함 된 자동 웨이퍼 정렬 도구가 통합됩니다. 이 자산은 모든 노출로 높은 수율을 초래합니다. 생산량을 더욱 향상시키기 위해, 이 모델은 이미지 왜곡 보상 장비 (image distortion compensation equipment) 를 갖추고 있으며, 이 장비는 실제 왜곡을 보완하여 일관된 이미지 품질을 보장합니다. 스테퍼는 저진공 렌즈 챔버 (low-vacuum lens chamber) 와 고급 투영 광학 디자인을 자랑하여 렌즈 왜곡에서 전체 수차를 줄여 시스템의 정확도를 높입니다. 또한 이중 셔터 장치 (double shutter unit) 를 사용하여 총 노출 시간을 줄여 처리량을 향상시킵니다. 또한 NSR 2205I11D (Fast Alignment Machine) 에는 웨이퍼에 대한 패턴 위치를 빠르게 측정 할 수있는 빠른 정렬 시스템이 장착되어 있습니다. NIKON NSR-2205 I11 D는 높은 생산성과 품질을 고려하여 설계되었습니다. 혁신적인 디자인은 탁월한 처리량을 제공하며, 최대 노출 속도는 시간당 180 웨이퍼입니다. 또한 "와퍼 '오염 과" 에어 쇼크' 를 줄이기 위해 고안 된 "픽업 '장치 가 있으며, 자동" 커킹' 도구 는 노출 중 에 "웨이퍼 '를 안전 하게 고정 시킨다. 이 자산은 또한 광학 요소를 최적의 상태로 유지하기 위해 자동 렌즈 배럴 워시 (automated lens barrel wash) 모델을 갖추고 있습니다. 전반적으로, NSR-2205 I11D 는 오늘날의 반도체 생산 프로세스의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 이미징 장비입니다. 또한 높은 해상도, 정확도, 처리량을 제공하며, 신뢰할 수 있는 작업도 제공합니다. 혁신적인 디자인 (design) 과 고급 이미징 (advanced imaging) 요소를 통해 모든 생산 라인에 영향을 미치므로 최고 수준의 수익률과 품질을 얻을 수 있습니다.