판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #9284006

NIKON NSR 2205 i11D는 고급 반도체 장치 제조를위한 2 빔, 2 필드 스테퍼입니다. 고해상도 0.2 (m) 의 임계, 고도로 정확한 기하학적 패턴을 생산할 수 있습니다. NIKON NSR-2205I11D 는 다중 조리개 (multi-aperture), 간섭 광학 장비 (interferometric optical equipment) 를 갖추고 있으며 최고의 해상도를 제공하는 컴팩트한 고NA 광 시스템입니다. 광학 장치는 거울, 렌즈, 곡면 조명기를 사용하여 최적화된 패턴 감지를 위해 에너지 모양을 정확하게 형성합니다. 이 기계에는 2 개의 라인 스칸 카메라가 포함되어 있으며, 이 카메라는 픽셀 크기가 0.13 (m) 이고, 계산 시간을 최소화하고 장치 생산 주기에 미치는 영향을 최소화하기위한 로우 레벨 이진 처리 알고리즘 (low-level binary processing algorithm) 세트입니다. NSR 2205I11D 의 웨이퍼 단계는 높은 정확도, 고속, 낮은 소음 연산의 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 선형 단계는 알루미늄 합금 프레임으로 만들어졌으며, 강성, 댐핑, 비선형 동작, 안정성의 최상의 조합을 제공하도록 설계되었습니다. 임베디드 마그네틱 모터 도구 (Embedded Magnetic Motor Tool) 는 스테이지에 전원을 공급하며 펄스 너비 변조 및 실시간 자동 보상과 같은 특수 기능을 가지고 있습니다. 이 자기 모터 자산은 정밀한 빔 정렬을위한 고급 운동학적 커플 링 (kinematic coupling) 및 기어 메커니즘과 결합됩니다. NIKON NSR-2205 I11D의 이중 파장 스캔 메커니즘에는 넓은 스펙트럼 (UV to Visible) 과 좁은 스펙트럼 (UV) 이 모두 포함되어 더 높은 정확도와 더 효율적인 작동을 제공합니다. NSR 2205 i11D 는 스캐닝 정확도가 높아 반도체 생산 라인에서 웨이퍼 (wafer) 를 정확하게 포지셔닝 및 제어할 수 있습니다. 또한, 스테퍼는 밝기 강도 감소로 인한 웨이퍼 패턴 수차를 방지하기 위해 고속 셔터를 갖추고 있습니다. NSR-2205 I11D 는 사용자 친화적이며 다양한 프로세스 매개변수 (process parameter) 와 이더넷 접속 (Ethernet connectivity) 으로 인해 유지 보수가 용이합니다. 기존 스텝퍼 (Stepper) 에 비해 이 모델은 자동 정렬 (Automatic Alignment) 기능이 포함되어 있으므로 보다 안정적이며 수동으로 또는 원격으로 사용할 수 있습니다. 또한, 내장 자체 진단 모델을 통해 전원 공급 전압, 조명 강도, 스펙트럼 구성 등의 정보를 실시간으로 관찰할 수 있으며, 오류가 발생할 때 사용자에게 알립니다. 전반적으로, NSR 2205I 11D 는 고해상도 패턴을 웨이퍼로 펄스하여, 이중 필드 스캐닝 기술을 사용하여 매우 짧은 시간 안에 작은 die 를 장착합니다. 고해상도 (Optic) 와 고급 제어 장치 (Advanced Control Equipment) 는 동기화된 작동과 정확한 생산을 보장하므로 고급 반도체 장치 제조에 이상적입니다.