판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #9276272

NIKON NSR 2205 i11D 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 전자 및 반도체 업계의 보다 복잡하고 소형화된 부품 및 부품에 대한 수요가 증가하도록 설계된 고급 마이크로 리소그래피 장비입니다. 고급 기술과 자동화된 프로세스를 갖춘 NIKON NSR-2205I11D는 고급 수준의 정밀도 및 웨이퍼 균일성을 제공합니다. NSR 2205I11D는 진정한 정렬 및 비디오 오버레이 기능, 3 차원 (3D) 이미징 시스템, 완전 자동 스캔 및 백래시 관리, 탁월한 공중 이미지 안정성을 포함한 최신 기능을 통해 반도체 웨이퍼를 정확하고 반복적으로 노출할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 처리량 증가를 위한 이중 웨이퍼 스테이지, 고유한 자동 스테이지 수준의 보상 장치 (Auto Stage Level Compensation Unit), 고해상도의 디지털 제어 머신 (Digital Control Machine) 을 통해 지속적으로 신뢰할 수 있습니다. NIKON NSR-2205 I11 D는 충돌 탐지와 같은 고급 기술을 결합하여 레이어 및 기타 재료 결함의 과도한 두께를 방지하고 각 레이어의 최적의 노출을 결정하는 DML (Dose Management for Lithography) 을 방지합니다. 이 도구의 전체 기능 DAS (Data Acquisition Asset) 는 수직 정렬 오버레이 및 등록 분석 기능을 포함하여 고급 실시간 이미지 등록 분석을 제공합니다. 또한 NSR 2205 I11 D 에는 데이터를 로컬 또는 원격으로 저장하여 여러 웨이퍼 (wafer) 프로세스에 대한 경향 분석 및 비교 그래프를 제공하는 오프라인 기능이 포함되어 있습니다. NSR-2205 I11D는 또한 고급 마스크 클램프 (Mask Clamp) 및 X/Y 단계를 통합하여 마스크 패턴을 정확하고 반복적으로 노출시킵니다. 이 기능을 사용하면 마스크 등록이 올바르고, 노출 전에 웨이퍼와 적절하게 정렬할 수 있습니다. 또한 마스크 오정 및 기타 재료 결함없이 장수명 정밀도 정렬에 적용됩니다. 이 모델은 현장 균일 특성을 사용하여 등록 정확도를 향상시켜 중요한 프로세스를 지원합니다. NIKON NSR-2205 I 11 D에는 고정밀 웨이퍼 정렬을 지원하는 고속 고해상도 모터 드라이브 X/Y 스테이지도 포함되어 있습니다. 첨단 전동 제어 장비는 스테퍼 (stepper) 요소의 정확한 정렬 및 위치를 위해 최대 10nm 해상도를 제공합니다. 또한, 개별 피쳐를 검사하는 데 드는 많은 대기 시간과 처리량 향상을 위한 조정 가능한 노출 주기 (Adjustable Exposure Cycle) 를 제거하기 위한 1 단계 검사 시스템이 있습니다. 요약하자면, NIKON NSR-2205 I11D 는 최첨단 웨이퍼 스테퍼로서, 더 작은 크기, 뛰어난 품질 제어, 빠른 처리 시간이 필요한 프로젝트에 가장 정밀도, 반복성, 정확성을 제공하도록 설계되었습니다. 첨단 기술, 고급 센서, 자동 (automated) 프로세스는 프로세스 결과의 최고 품질과 신뢰성을 보장합니다. 이 장치는 또한 탁월한 이미징, 균일성, 프로세스 관리 기능을 제공하여 투자한 돈에 대한 진정한 가치를 제공합니다.