판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #9272637

NIKON NSR 2205 i11D 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 고속 및 저용량 노출을 통해 뛰어난 오버레이 성능을 제공하도록 설계된 고급 이미징 장비입니다. 이 시스템은 새로운 NIKON E37A 고유 i-line 투사 렌즈를 사용하며, 최대 200mm 웨이퍼 크기의 다양한 웨이퍼 크기를 지원할 수 있으며, 높은 프레임 속도 (초당 최대 80,000 프레임) 를 수용 할 수 있습니다. 이 장치는 새로운 통합 고성능 고급 OMA (Optical Mode Assurance) 머신을 통해 오버레이 정확도와 균일 한 노출을 제공합니다. 컴팩트 축 (Compact-Axis), 듀얼 스테이지 메커니즘을 통해 스틱이 없는 초고해상도 이미징 (ultra-high resolution imaging) 및 고속 포커싱 (fast-focusing) 기능을 제공하여 사용자가 처리량이 많은 프로세스에 다양한 기판 응용 프로그램에 액세스 할 수 있도록 합니다. 이 도구는 또한 자동화된 PDL 보상 (PDL Compensation) 도구와 함께 고성능 14 비트 TTL 전원 공급 장치를 갖추고 있으며, 이는 마스크 시프트의 가장 적합한 값을 줄이기 위해 방향 축을 정확하게 조정하는 데 사용됩니다. 이 독보적인 툴은 데이터 액세스/분석 기능의 유연성과 정확성을 제공하는 동시에, 에너지 소비의 고갈을 최소화합니다. NIKON NSR-2205I11D에는 고급 ActiveJob Processing ™ 자산도 장착되어 있습니다. 이 통합 프로세스 제어 도구 (Integrated Process Control Tool) 를 사용하면 단일 인터페이스를 사용하여 모든 이미징 작업을 프로그래밍, 최적화 및 조정할 수 있습니다. 이 모델은 또한 다른 시스템과 작업 데이터를 통합하고 공유하며, 높은 수준의 안정성과 사용자 생산성 (user productivity) 을 제공합니다. 장비 (Equipment) 에는 Wafer 지원, 회전 및 포커스 설정을 구성하고 자동 Wafer 중심 작업을 실행할 수 있는 고유한 자동 제어 기능도 포함되어 있습니다. 마지막으로, NSR 2205I11D 는 또한 열관리 시스템 (thermal management system) 을 갖추고 있어 장치의 온도를 모니터링하고 히트싱크를 활용하여 열관련 (heat-sink) 을 제거해 줍니다.