판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #9251004
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판매
ID: 9251004
빈티지: 1996
Stepper
MCSV Basic version: 2.31D
OCS Option: 2.18A
Main system: 2.42A
Reticle loader
Stage
Operation panel
Wafer loader
Lens controller
Alignment
Main computer:
System: VAX4000.90A
Hard disk: DKA200, DKA300
Illumination type: SHRINC3
Revolver type: Conv, ann, small
Wafer stage:
Chuck type, 8"
Screw type: Ball
Reticle alignment: VRA, ISS
Reticle microscope
Wafer alignment: LSA, FIA
Multiple auto focus
Wafer loader, 8"
Loader type: Type2 (A3)
OF Type: Notch
Flatzone: 6 O'Clock
Cassette: Left and right
Control rack position: Right side
Reticle loader, 6"
(13) Slots
Wafer flatness: 1.510 um
Wafer leveling:
X: -0.248 sec
Y: 0.049 sec
Reticle blind setting accuracy:
XP: 0.5 mm
Xm: 0.6 mm
Yp: 0.7 mm
Ym: 0.5 mm
Stepping:
3σ-X: 0.025 um
3σ-Y: 0.023 um
INC Adjustment:
Maximum-minimum: 0.311 um
Curvature: 0.010 um
UR-LL: -0.056 um
UL-LR: 0.081 um
DIS Adjustment:
Maximum-X: 0.037 um
Maximum-Y: 0.047 um
Minimum-X: -0.051 um
Minimum-Y: -0.044 um
Exposure power: 565 mw/cm²
Power uniformity: 0.934%
1996 vintage.
NIKON NSR 2205 i11D는 고급 리소그래피 리소그래피 및 검사 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 두 가지 주요 구성 요소, 고도로 고급 조명 장비, 고급 이동 단계로 구성됩니다. 조명계는 고해상도 패턴을 반도체 웨이퍼 (wafer) 에 투영하는 최적화된 투영 렌즈 (projection lens) 를 형성하여 정확하게 형성된 기능과 더 큰 균일성을 가능하게한다. 렌즈는 수은 아크 램프 (mercury-arc lamp) 에 의해 지원되며, 넓은 지역에 걸쳐 높은 수준의 조명을 제공합니다. 광학 구성 요소에는 레이저 다이오드 (laser diode) 와 균일 한 조명을 제공하는 일련의 렌즈가 포함됩니다. 조명 장치는 또한 정밀도를 향상시키기 위해 투영 렌즈 십자선을 특징으로합니다. 고급 이동 단계 (Advanced Moving Stage) 는 렌즈 표면을 가로 질러 웨이퍼를 부드럽게 움직이도록 설계되어 높은 정밀도와 반복 성을 제공합니다. 스테이지는 다양한 매개변수 (parameters) 로 프로그래밍 될 수 있으며, 필요한 노출 시간을 제공하면서 정확한 이동과 원하는 작업 거리 (working distance) 를 달성 할 수 있습니다. 고급 제어 시스템 (Advanced control systems) 은 웨이퍼가 정확하게 배치되도록 하는 데 사용됩니다. NIKON NSR-2205I11D 에는 안정성과 수명을 보장하는 여러 가지 안전 및 유지 보수 기능이 장착되어 있습니다. 인체 공학적 설계는 운영자의 피로를 줄이고, 유지 관리 알림 머신이 내장되어 있어 다운타임을 줄일 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 또한 환경 관리 도구, 모니터링 및 기록 온도 및 습도 수준을 통합하여 구성 요소를 손상으로부터 보호합니다. NIKON은 고품질의 고해상도 이미지를 제공하기 위해 NSR 2205I11D를 설계했습니다. 첨단 조명에셋 (lumination asset) 과 움직이는 스테이지 (moving stage) 는 정확하고 균일한 이미지를 보장하며, 안전성과 유지 관리 기능은 안정적이고 지속적인 성능을 보장합니다. NSR 2205 I 11 D는 반도체 제조 시설의 웨이퍼 리소그래피, 검사 및 도량형 애플리케이션에 적합합니다.
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