판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #9247256

ID: 9247256
웨이퍼 크기: 6"
Stepper, 6" Illumination: SHRINC3.
NIKON NSR 2205 i11D 웨이퍼 스테퍼는 photolithographic 프로세스에 사용되는 고정밀 기계입니다. 이 장치는 회로 기판 (Circuit Board) 및 관련 어플리케이션에 최적화되어 광범위한 어플리케이션 요구를 충족할 수 있는 탁월한 정확성과 다양한 기능을 제공합니다 (영문). IC 제조 공정의 결정 실리콘, 화합물 및 MEMS 장치에 이상적인 선택입니다. 이 스테퍼에는 세계적으로 유명한 NIKON NSR-2205I11D 듀얼 축 드라이브가 장착되어 있으며, 이전 설계보다 높은 해상도와 높은 반복성을 제공합니다. 페어 스캔 (pair scan) 을 사용하면 양방향 데이터 중복이 제거되어 보다 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 10 밀리초 미만의 게이트 시간을 제공하여 생산성을 최대 57% 까지 향상시킬 수 있습니다. NSR 2205I11D에는 고급 광학 경로 안정기가 있는 비대칭 4 세그먼트 미러가 있습니다. 즉, 이미지 품질의 안정성과 안정성을 보장하여 전반적인 성능을 향상시킵니다. 이 장치에는 106 x 95 mm의 매핑 필드와 1.0 µm의 광학 해상도 (optical resolution) 가 있으며, 이는 광범위한 마스크 및 포토 마스크 형성에 적합합니다. 이 기계는 또한 OPC를 지원하여 정확도를 0.5 äm로 높였습니다. 또한 디지털 원형 세그먼트, 35mm 이미징 F-theta 렌즈 및 고급 고가상 비율 렌즈가 지원됩니다. NSR-2205I11D는 11형 (full field) HD 해상도와 열에 민감한 검출기로, 높은 해상도와 정밀도가 필요한 경우에도 매우 효율적입니다. 또한, 이 기계는 두 개의 진동 격리 테이블을 지원하여 처리량 및 정확도를 향상시킵니다. 이 웨이퍼 스테퍼의 다른 독특한 기능으로는 실시간 모니터링 및 진단을위한 NIKON 고급 "Visioneer" 기술이 있습니다. 또한 내장 바코드 프린터, PC 오프라인 기능, 향상된 작동 및 성능을 제공합니다. 이 기계는 사용하기 쉽고 유지 관리가 쉽고, 연산자가 리토그래피 (lithography) 프로세스를 정확하고 신속하게 완료할 수 있습니다. NIKON NSR-2205 I11 D는 매우 정밀하고 안정적이며, 장기 서비스 전반에 걸쳐 뛰어난 성능을 제공합니다. 전 세계 업계 전문가에게 매우 안정적이고 비용 효율적인 선택입니다 (영문).
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