판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #9247255

NIKON NSR 2205 i11D Wafer Stepper는 반도체 광학 석판 공정을 위해 제작 된 고급 이미징 장비입니다. 하이엔드 반도체 소자의 제작에 사용되는 웨이퍼 (wafer) 정렬 및 정밀 노출을 위해 설계되었습니다. 니콘 (NIKON) 의 주력 제품으로서, 스테퍼는 탁월한 성능을 제공하며 다양한 고급 기능을 제공합니다. 0.14 m 범위에서 최대 5 세대의 장치 기하학이 가능하며, 모든 석판 촬영 작업에서 뛰어난 해상도와 정확도를 제공합니다. 이 장치는 새롭게 설계된 옵티컬 스테이지로, 빠르고 부드러운 작동을 제공합니다. "라인 스캔 조리개 (Line Scan Aperture)" 가 장착되어 있으며, 최고 30kHz의 고속 스캔 모드로 웨이퍼를 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 독자적인 "고해상도 이미지 모니터 (High-resolution Focus Image Monitor)" 가 포함되어 있어 프로세스 조건을 감지하여 프로세스 정확도를 높일 수 있습니다. 또한, NIKON NSR-2205I11D 스테퍼는 정교한 패턴 일치 알고리즘을 사용하여 장치 수준에서 완벽한 등록을 수행하는 기능을 제공합니다. 최대 1.4 nm 해상도로 정확도가 향상됩니다. 또한, 이 시스템은 수직 및 측면 정렬, 이중 패턴, 이중 노출 등 다양한 노출과 함께 사용하도록 설계되었습니다. NSR 2205I11D의 추가 뛰어난 기능으로는 고급 스캔/레이저 모드, 회절 오류 교정 모드, 소음 감소 모드 및 진동 방지 하위 제로 기능 (Anti-Vibration Sub-Zero Function) 이 있습니다. [스캔/레이저 모드] 를 사용하면 고속 레이저와 겹치는 패턴을 정확하게 정렬할 수 있고 [회절 오류 교정 모드] 를 사용하면 회절 관련 패턴을 줄일 수 있습니다. 마지막으로 [노이즈 감소 모드] 와 [진동 방지 하위 제로 함수] 는 모두 왜곡 방지 및 웨이퍼 안정화에 유용합니다. 전반적으로 NIKON NSR 2205I11D Wafer Stepper는 고급 석판화 프로세스를 위해 설계된 혁신적인 최첨단 이미징 장비입니다. 비교할 수없는 기능 세트는 높은 해상도, 정확도, 정밀도로 뛰어난 측정 및 프로세스 제어를 제공합니다. 하이엔드 반도체 장치 생산 프로세스에 이상적이며, 매번 인상적인 결과를 제공합니다.