판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #9246589

NIKON NSR 2205 i11D는 1.3 메가 픽셀 CCD 카메라와 단계/반복 기능이있는 280nm 해상도를 갖춘 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 전용 1.4NA 렌즈를 장착하여 큰 물체의 고해상도 이미징과 멀티 다이 (multi-die) 검사를 할 수 있습니다. NIKON NSR-2205I11D 는 다중 패턴 기능을 제공하며, 높은 처리량과 뛰어난 이미징 성능을 제공하도록 구성되어 있습니다. 스테퍼의 최대 크기는 19mm 웨이퍼 (wafer) 이며 이동할 필요없이 4 인치 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. NSR 2205I11D 는 또한 새로운 다이렉트 드라이브 모터를 사용하여 진동을 줄이는 스캐너 (scanner) 장비를 갖추고 있으며, 초고화질 (ultra-define) 프로젝션 시스템은 정확하고 안정적인 해상도를 보장합니다. 다이렉트 드라이브 모터 (direct drive motor) 는 웨이퍼 스테이지에서 진동을 줄여 보다 정확한 정렬 및 스캐닝을 가능하게 합니다. NSR-2205 I11 D는 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 사용이 간편한 제어 인터페이스를 제공합니다. 또한 매개변수 설정 (parameter settings) 과 작업 설정 (operation settings) 을 쉽게 사용자 정의하여 장치의 다양한 성능 특성을 세밀하게 조정할 수 있습니다. 공랭식 플랫폼에서 작동하며 최대 가속도는 40mm/sec2입니다. 기계적 반복성은 0.02um입니다. 스테퍼의 위치 정밀도는 0.8 ~ 6 나노 미터이며 처리 속도는 최대 450mm/sec2에 도달 할 수 있습니다. NIKON NSR 2205 I11 D에는 최대 8 개의 웨이퍼를 동시에 처리하는 자동 웨이퍼 카세트 전송 머신이 제공됩니다. 안전성 측면에서 NIKON NSR-2205 I11 D는 사용자와 샘플을 잠재적 피해로부터 보호하기위한 연동 메커니즘을 가지고 있습니다. 또한 조정 가능한 레이저 정렬 도구를 갖춘 고급 완전 자동 노출 도구 (fully automated exposure tool) 가 있습니다. 스테퍼는 PC 및 Mac 운영 체제와 모두 호환되며 GUI (Graphical User Interface) 는 사용자 친화적으로 사용자 정의할 수 있습니다. NIKON NSR 2205 I 11 D 웨이퍼 스테퍼는 고정밀 및 고사양 이미징 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. 고성능 (high-framerate) 기능과 다중 패턴 (multi-patterning) 기능을 통해 이 스테퍼는 집적 회로와 멀티 칩 모듈을 만드는 뛰어난 솔루션이 됩니다. NSR-2205 I11D 는 가장 까다로운 애플리케이션을 위한 고성능 및 안정성을 제공합니다.