판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #9244218
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판매
ID: 9244218
웨이퍼 크기: 8"
Stepper, 8"
Basic version: MCSV
Option version: OCSV
Lamp power
Uniformity
Stepping
Overlay(LSA): lXl+3σ
Overlay(FIA): lXl+3σ
Reticle rotation: Repeatability
Lens distortion: Min~Max
Reticle blind
Main computer:
Computer system
Hard Disk Drive (HDD): DKA200,300
Disk drive: Tape (DAT)
Illumination type: 1.75 kW Lamp
Wafer stage:
Ball screw
Ring type chuck
Reticle alignment: VRA, ISS
Reticle microscope: FIX
Wafer alignment: FIA, LSA
Auto focus: Multi point
Wafer loader:
Type 2
Flat type
Inline (Left)
Cassette (Left)
Control rack position: Right
Reticle loader, 6"+ extra
PPD2
Chamber type: S07
Temperature: 23°C
No bar code.
NIKON NSR 2205 i11D는 단일 웨이퍼 및 클러스터 웨이퍼 처리를 위해 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계는 강력한 DUV 광학 장비로 설계되었으며, 가장 어려운 기판까지 매우 정밀하게 처리 할 수 있습니다. NIKON NSR-2205I11D 는 새로운 단계와 반복 시스템으로, 뛰어난 해상도를 제공합니다. NSR 2205I11D는 11 메가픽셀 센서를 자랑하며, 0.28äm 정렬이 가능하며, 큰 척판 (chucking plate) 은 뛰어난 반복성과 정확도를 제공합니다. 이 스테퍼에는 새로 개발된 웨이퍼 정렬 장치 (Wafer Alignment Unit) 가 있는데, 이 장치 (Wafer Alignment Unit) 는 웨이퍼의 방향을 자동으로 감지하여 포토마스크를 반복적으로 정밀하게 정렬하고 배치할 수 있습니다. 또한 고속 스캐닝 머신 (scanning machine) 이 포함되어 있어 높은 처리량과 세심한 기판 검사가 가능합니다. NSR 2205 I11 D는 50MHz NIS 컨트롤러와 스캐너 모터로 구동되어 안정적이고 효과적인 모션 제어를 제공합니다. 또한 최고 수준의 정확도를 위해 자동 초점 및 스티칭 기능이 특징입니다. NIKON NSR-2205 I 11 D를 사용하면 wafer stage 및 mask 테이블 위치가 모두 모니터링되고 0의 위치 드리프트에 대해 수정됩니다. NIKON NSR 2205I11D 는 칩 생산에 적합한 툴로서, 사용자가 정확하고 반복 가능한 정렬 정확도를 얻을 수 있도록 해 줍니다. 고급 자동 정렬, 스캐닝 (scanning), 스티칭 (stitching), 자동 초점 (auto-focusing) 기능, I/O 인터록과 같은 유용한 기능과 함께 광학 장치 및 기판 표면의 손상을 방지할 수 있습니다. NIKON NSR-2205 I11D 는 높은 처리량, 높은 정밀도, 신뢰성 있는 성능을 완벽하게 조합하여 가장 까다로운 칩과 반도체 애플리케이션을 위한 최적의 솔루션입니다.
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