판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #9237764
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ID: 9237764
웨이퍼 크기: 4"
Stepper, 4"
Panel: MPXIII
Chamber set temperature: Chamber / LLTC / IATC: 23°C
AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT Laser: 5517B
LSA Laser: 7 mw
ITV Camera: NIKON Original
OF Detection type: NIKON Original
No in-line
Wafer type: Flat
Wafer loader type: Type 2
Wafer condition: SAPPHIRE
Wafer carrier table: Right
FIA
Reticle size, 6"
Reticle library slot: 13 Slots (3 Slots bad)
No barcode & PPD
Control rack PCB
Computer type: VAX 4000 96
Fiducial mark
CDA / Vacuum pipe
STG Guide
SHRINC Lens wheel belt.
NIKON NSR 2205 i11D는 반도체 산업의 고급 애플리케이션을 위해 설계된 고급, 다용도 웨이퍼 스테퍼 장비입니다. 이 장치는 최대 해상도 1.5nm 또는 13.5nm 필드 크기 (10 배) 로 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. NIKON NSR-2205I11D는 다양한 기능 세트와 유연성을 제공합니다. 혁신적인 조명 시스템을 갖추고 있으며, 적응형 멀티 샷, 듀얼 필드 (dual-field) 및 가속 노출 기술을 제공하여 더 높은 정확도와 정확도로 광범위한 노출 범위에 노출됩니다. 이 장치에는 활성 축 제어 플랫폼 (Active Axis Control Platform) 과 향상된 스티칭 기능 (Stitching Capability) 세트가 있어 패턴 스티칭과 노출을 원활하게 수행할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 더 높은 기능 정확도를 위해 자동 광량 제어가 포함되어 있습니다. 칩 크기는 최대 180mm이며, 큰 기판과 복잡한 패턴을 가능하게합니다. 또한, NSR 2205I11D 는 고급 이미징 픽업 유닛과 함께 제공되며, 향상된 이미지 정의와 선명도, 그리고 더 높은 배율 능력을 제공합니다. NSR 2205 I11 D 는 안정적이고 최적화된 성능을 제공하는 동시에 고해상도 이미징을 제공합니다. 즉, 고급 웨이퍼 (wafer) 포지셔닝을 통해 디바이스가 웨이퍼의 다른 모양과 위치 오류를 보완할 수 있습니다. 또한, 향상된 오류 감소 (error reduction) 를 통해 작업을 단순화하여 보다 쉽고 빠르게 작업을 수행할 수 있도록 설계되었습니다. NSR-2205 I11D 는 올인원 (All-in-One) 시스템으로 단일 패키지에 여러 가지 기능과 기능을 제공합니다. 제작에서 다이 검사 (Die Inspection) 에 이르기까지 다양한 하이엔드 애플리케이션의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 고정밀도, 반도체 운영 시 향상된 속도, 정확도, 효율성을 제공하여 광범위한 생산 프로세스에서 탁월한 성능을 제공합니다.
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