판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #9237618

ID: 9237618
Stepper, 4" Chamber model: N2A Panel: MPXIII Chamber set temperature: Chamber / LLTC / IATC: 23°C AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT Laser: 5517B LSA Laser: 14.3 mw ITV Camera: NIKON Original OF Detection type: OMRON No in-line Wafer type: Flat Wafer loader type: Type 2 Wafer condition: SAPPHIRE Wafer carrier table: Right FIA Reticle size, 6" Reticle library slot: 13 Slots No barcode & PPD Computer type: VAX 4000 90A CDA / Vacuum pipe WL/RL Belt Fiducial mark Control rack PCB STG Guide No SHRINC lens wheel belt.
NIKON NSR 2205 i11D 웨이퍼 스테퍼는 반도체 장치 제작을 위해 설계된 고급 석판화 장비입니다. 이 스테퍼는 강력한 옵티컬 시스템, 고정밀 스캐닝 스테이지, 고성능 모터 드라이브 (motor drive) 장치를 사용하여 뛰어난 장치 성능을 제공합니다. 스테퍼는 단계 및 반복 (steps-and-repeats) 방법을 기반으로 전체 기판에 걸쳐 이미지 균일성을 제공하는 전체 필드 이미지를 사용합니다. 시스템의 모듈식 (modular) 구조를 통해 유연성과 확장성을 강화하여 다운타임을 최소화하면서 운영 및 유지 보수 작업을 수행할 수 있습니다. 스테퍼는 고급 광학을 사용하여 생성 된 이미지의 균일성과 해상도를 높입니다. 이 도구는 11 렌즈 (11-lens) 및 8 렌즈 (8-lens) 자산을 사용하여 최고의 스테퍼 기술을 통해 달성 할 수있는 해상도에서 전체 기판 영역에 균일 한 이미징 성능을 제공합니다. 웨이퍼 스테이지 크기가 최대 25 인치인 모델은 처리율이 높은 200mm 및 300mm 직경 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 높은 정확도 스캔 단계는 반복 테스트 (repeatability tests) 를 수행하고 1 초의 분수에 피드백을 제공할 수 있으며 스캐닝 중에 자동 초점, 이미지 컨텍스트, 이미지 분석, 이미지 확인 기능이 사용되어 정확한 이미징을 보장합니다. NIKON NSR-2205I11D 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 또한 최신 로봇 제어 시스템과 결합된 고성능 모터 드라이브 장비를 갖추고 있으며, 이를 통해 스테이지의 동적 제어를 위한 고효율 웨이퍼 (wafer) 전송과 고정밀 제어를 모두 수행할 수 있습니다. 모터 제어 시스템은 또한 기존 시스템보다 정밀도가 높은 가속, 속도, 위치를 제어 할 수 있습니다. 이 수준의 제어는 보다 정확한 이미징 (imaging) 을 통해 생산성을 높일 수 있으며, 잘못된 정렬 오류도 줄어듭니다. NSR 2205I11D 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 또한 최신 이미징 알고리즘을 제공하여 빠르고 정확한 이미지 분석 및 피드백을 제공합니다. 이 장치는 이 피드백을 사용하여 이미징 (imaging) 매개변수를 조정하여 최적의 이미징 결과를 얻을 수 있습니다. 고급 광학 (Optic), 동작 제어 (Motion Control) 및 이미징 알고리즘을 사용하면 매우 낮은 이미지 오류를 유지하면서 높은 처리율을 제공할 수 있습니다. NSR 2205I 11D 웨이퍼 스테퍼는 다운타임을 최소화하면서 매우 고품질 이미지를 제공할 수 있습니다. 이 도구는 신뢰성이 높고 다재다능하며, 광범위한 반도체 장치 제작 작업을 지원합니다. 이 자산은 생산능력과 효율성을 높이기 위해 안정적이고, 정확성이 높은 웨이퍼 (wafer) 스테퍼 (stepper) 를 찾는 조직이나 개인에게 이상적인 선택입니다.
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