판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #9237615

NIKON NSR 2205 i11D는 반도체 제조에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. 석판 공정을 수행하는 6 축 장비입니다. 카메라의 해상도는 최대 0.248nm이며, 고정밀 이미징 및 정렬이 가능합니다. NIKON NSR 2205는 full-field exposure, spot-exposure, step-and-repeat exposure 등 다양한 이미징 작업을 수행할 수 있습니다. NIKON NSR 2205의 필드 크기는 645mm x 540mm이며 전체 필드 처리량은 최대 75 웨이퍼/시간입니다. 반사경이없는 스테퍼, 원격 중심 광학 정렬 시스템, 새로운 디플렉터블 광학 마운트, 가공소재 적재 장치가 장착되어 있습니다. 스테퍼는 각각 0.01mm, 0.01mm 및 0.1mRad 내의 피치, 변위 및 정렬 정확도로 매우 정확한 노출이 가능합니다. 이러한 기능을 통해 NIKON NSR 2205는 까다로운 작업을 위한 높은 처리량으로 안정적인 이미징을 수행할 수 있습니다. 또한 NIKON NSR 2205에는 최첨단 Image Data Collection Machine이 있습니다. 이 도구는 인쇄된 패턴 데이터와 기판의 패턴 (pattern) 을 포괄적으로 측정합니다. 이러한 데이터의 분석을 통해, 인쇄 된 패턴의 선 너비와 임계 치수를 0.05 "m '의 정확도로 결정할 수 있습니다. NIKON NSR 2205는 또한 고품질 SEM 이미지를 캡처할 수 있습니다. 내장형 옵토 (Opto) 기계식 조명 에셋이 장착되어 있어 명암비가 3% 인 저대비 (Low-Contrast) 기능을 감지할 수 있습니다. NIKON NSR 2205 는 또한 내장형 이미지 개선 모델을 제공합니다. 이 모델은 이미지를 선명하게 하는 동시에 광 소음과 왜곡 (distortion) 을 없앨 수 있습니다. 언급 된 기능 이외에도, NIKON NSR 2205 는 고급 제어 및 자동화 기능도 갖추고 있습니다. 호스트 PC는 NC (수치 제어) 드라이버를 통해 웨이퍼 스테퍼와 통신하여 높은 수준의 사용자 제어를 가능하게 합니다. 또한 NIKON NSR 2205 는 Optic 을 자동으로 보정하여 향상된 이미징 환경을 제공합니다. NIKON NSR 2205 는 고급 웨이퍼 스테퍼로, 처리량이 많은 이미징 작업을 안정적이고 정확하게 수행할 수 있습니다. 내장형 옵토 메카닉 조명 장비와 이미지 개선 알고리즘은 고대비 이미징을 가능하게 합니다. NIKON NSR 2205는 모든 반도체 석판 프로세스에 이상적인 선택입니다.