판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #9237613

NIKON NSR 2205 i11D Wafer Stepper는 고급 반도체 장치 제작 프로세스의 요구를 충족하도록 설계된 정교한 고성능 이미징 장비입니다. 이 시스템은 안정적이고 경제적인 이미징 솔루션으로, 처리량 및 탁월한 해상도를 제공합니다. NIKON NSR-2205I11D 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 최첨단 KrF 엑시머 레이저 노출 장치를 갖추고 있으며, 대형 노출 필드가 있는 고정밀 이미징을 위해 설계되었습니다. 노출 소스는 150mm 직경의 쿼츠 서브 프레임으로 구성되며, 출력 전력이 최대 250mW 인 KrF 엑시머 레이저를 포함합니다. 레이저 노출 시간은 25 -6000 ms의 범위 내에서 정확하게 제어 할 수 있습니다. NSR 2205I11D Wafer Stepper는 하위 아이콘 XY 해상도와 +/- 0.5um의 반복 가능성을 갖춘 뛰어난 정렬 정확도를 갖습니다. 포지셔닝 머신은 NIKON 특허를받은 High-Axes DDM (Dual DualMotor) 디자인과 선형 모터의 제품으로, 정확도와 최대 가속도를 모두 확장합니다. 조정 가능한 포커싱 메커니즘은 정확한 정렬 외에도 웨이퍼 (wafer) 지형과 무관한 최적의 포커스 (focus) 를 보장합니다. NIKON NSR 2205I 11D 웨이퍼 스테퍼는 매우 정확한 이미징 도구입니다. 직경 12 인치까지 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 웨이퍼 라이브러리는 청소실 외부에 있습니다. 엔클로저된 소프트웨어, 자동 정렬 및 초점 기능으로 인해 자동화된 프로세스가 가능합니다. 고급 장치 구성 응용 프로그램의 경우, NSR-2205 I11 D Wafer Stepper 기능은 내장 OPC 및 설계 규칙 점검 기능을 제공합니다. 주석과 측정은 NIKON NSR 2205 I 11 D 웨이퍼 스테퍼에서 가능합니다. 자산에는 원격 제어 및 작동을 위한 PC 인터페이스가 장착되어 있습니다. 또한, NIKON 은 자동화된 결함 검사 기능과 wafer pattern 측정을 제공하며, 이는 고급 디바이스 구성 프로세스에 필수적입니다. NIKON NSR-2205 I11 D 웨이퍼 스테퍼는 고급 반도체 장치 제작 프로세스에 필수적인 도구입니다. 최첨단 이미징 모델과 뛰어난 정밀도는 높은 정확도의 이미징 및 고급 반도체 장치 생산을 제공합니다.