판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #9236908

ID: 9236908
웨이퍼 크기: 6"
Stepper, 6" Reticle, 6" (2) Carriers Illumination: SHRINC3 Lamp illumination: Average power: 949.289 mW / cm² Uniformity: 1.752% Lens distortion: ±0.050 µm Maximum: X: 0.059 Y: 0.042 Minimum: X: -0.031 Y: -0.056 Field inclination: Within: 0.35 µm UL-LR, UR-LL: 0.2 µm AST: 0.25 µm Maximum: 0.276 µm Curvature: -0.016 µm UL-LR: -0.052 UR-LL: -0.032 µm.
NIKON NSR 2205 i11D는 가장 까다로운 반도체 제작 요구를 처리하도록 설계된 최고의 웨이퍼 스테퍼입니다. 모든 작업에서 정확하고 효율적인 결과를 얻을 수 있도록 매우 정밀한 SR Optic과 고급 (High-Level) 정렬 장비를 갖추고 있습니다. NIKON NSR-2205I11D는 5축의 해상도와 고속 드라이브 시스템을 갖춘 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 설치 공간은 작지만, 설치와 작동은 간단하며, 탁월한 광 장치 (optical unit) 는 뛰어난 화질을 제공합니다. NSR 2205I11D는 3 "~ 12" 의 기판을 처리 할 수 있으며 0.5 미크론 등록 정확도로 단계 및 반복 정렬 작업을 수용 할 수도 있습니다. 성능을 보장하기 위해 NIKON NSR 2205I11D에는 여러 기능이 장착되어 있습니다. i-line 및 DUV 조명 시스템은 인쇄 가능한 이미지 크기를 강화하고, 정밀 모션 제어 머신은 초고속 step-and-repeat 정렬 정확도를 제공합니다. 또한 NSR-2205 I 11 D에는 향상된 장치 제어를 위한 자동 참조 및 밝은 필드 LED 감지기와 자동 웨이퍼 정렬이 포함되어 있습니다. 최대 처리량을 보장하기 위해 NSR 2205 I11 D 는 수많은 혁신적인 기술을 사용합니다. 고속 웨이퍼 처리 기능은 로드 잠금 설계 (load-lock design), 온보드 도구 (onboard tools) 및 병렬 배출 메커니즘을 포함한 옵션 조합으로 구동됩니다. 이렇게 하면 거의 0에 가까운 폐기물 수준에서 최대 처리량을 제어할 수 있습니다. NIKON NSR 2205I 11D에는 2 개의 전자 스케일이 장착되어 있습니다. 이를 통해 신속한 데이터 수집 및 제어가 가능하며, 내장된 제어 툴은 반복 가능한 실시간 데이터 분석 (repeatable, real-time data analysis) 기능을 제공합니다. 또한, 강력하고 사용자 정의 가능한 소프트웨어를 통해 고급 컴퓨팅 기능을 사용할 수 있으므로 기능, 웨이퍼 방향, 처리 속도, 정확도를 세부적으로 제어할 수 있습니다. 일관된 성능을 유지하기 위해 NIKON NSR-2205 I 11 D는 여러 가지 운영 기능을 추가로 제공합니다. 온도 조절 (Temperature Control) 자산은 운영 시간이 더 길도록 안정적인 환경을 보장하는 반면, 사용자 정의 크립 모니터와 iMode 작동 모니터의 조합은 향상된 성능을 제공합니다. 기본 제공되는 자동 초점은 효율성을 극대화하는 반면, 시스템의 메모리 관리 기능은 데이터 손실을 방지합니다. NIKON NSR 2205 I 11 D는 탁월한 정확성, 신뢰성 및 처리량을 제공하는 인상적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 다양한 애플리케이션에 적합한 성능을 제공하므로, 가장 까다로운 반도체 (semiconductor) 제작 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다.
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