판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #9236906

NIKON NSR 2205 i11D 는 운영 환경에서 최고의 정확성과 처리량을 필요로 하는 장치 제조업체를 위해 설계된 고급 웨이퍼 (wafer) 스테퍼입니다. 이 웨이퍼 스테퍼는 광원 기술 및 정밀 옵틱을 사용하여 마스크 패턴의 노출을 정확하게 제어합니다. 최대 4.5 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 고해상도 스캔 모드와 초고속 '고속 스캔' 모드를 모두 갖추고 있습니다. NIKON NSR-2205I11D 웨이퍼 스테퍼는 'NSR Q-Illumination (NSR Q-Illumination)' 으로 알려진 전체 필드 조명 장비를 사용하여 전체 필드에서 안정적인 강도로 X 축과 Y 축을 따라 매우 균일 한 광원 복사를 제공 할 수 있습니다. 이 시스템은 패턴 크기에 관계없이 모든 마스크 패턴 (mask pattern) 에 대해 전체 웨이퍼 (wafer) 에 균등하게 노출될 수 있습니다. 이 모델의 조명기 (Lightumination Unit) 는 여러 수준의 조도 및 초점을 제공하며, 이는 0.5 ~ 10 발의 다양한 패턴 크기에서 향상된 석판 성능을 크게 돕습니다. NSR 2205I11D는 또한 위상 시프터 (phase shifter) 를 사용하여 더 세밀한 조정 조명을 구현하고, 마스크 패턴의 형상이 좋지 않은 부분에서 노치를 줄이거나 제거 할 수 있습니다. 이 단계 시프터 (phase shifter) 를 사용하면 패턴 노출을 제어하는 데 더 유연하게 사용할 수 있으며, 보다 좋고 균일한 미세 피쳐 해상도 (fine feature resolution) 를 사용할 수 있습니다. 이 모델의 스캔 (scan) 모드는 해상도를 선택할 수 있으며, 해상도가 높을수록 7.5% 의 선형 해상도를 통해 리소그래피 (lithography) 공정에 명확성과 정밀도를 제공합니다. 고속 스캔 (High-Speed Scan) 모드는 시간당 최대 30 개의 웨이퍼를 10% 의 선형 해상도로 스캔할 수 있으므로 높은 처리량 프로세스에 적합합니다. 이 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 의 크기는 조명기에만 국한되지 않으며, 자동 로딩 샘플 단계 (auto-loading sample stage) 를 가지고 있어 웨이퍼를 효과적으로 가장 정밀하게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 또한, 최적 노출 결과를 위해 샘플 표면을 정확하고 정확하게 감지 할 수있는 저진동 자동 초점 단계 (low-vbration auto-focus stage) 를 자랑합니다. 정확하면서도 효율적인 웨이퍼 스테퍼가 필요한 경우 NIKON NSR-2205 I11D가 완벽한 선택입니다. 고급 옵틱 (optic), 조명 (lumination) 및 스캔 (scan) 모드는 생산 환경의 장치 제조업체에 귀중한 정확하고 균일하며 고속 성능을 제공합니다.