판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #9160391

NIKON NSR 2205 i11D는 마이크로 리토 그래피 프로세스에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 스테퍼는 낮은 반사 및 흡수 특성을 위해 가벼운 엑시머 레이저 (248 nm 파장) 의 공급원을 가지고 있습니다. 이 장비에는 레티클 이미지를 줄이기 위해 2 개의 렌즈를 사용하는 감소 투영 광학 (reduction projection optics) 이 있으며 다크 필드, 라이트 필드, 초점 변화, 브라이트 필드 등의 기술과 호환됩니다. 레이저는 최대 300 ns의 펄스 너비로 고출력 가변 광 펄스 길이 (optical pulse length) 를 가능하게하며, 이는 안정적인 패턴화에 이상적입니다. 이 기계의 테이블 크기는 53 x 63cm (53 x 63cm) 이며 직경이 최대 200mm인 대형 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 정확한 정렬을 위해 x 및 y 축을 따라 패턴 위치 정밀도 0.5 "m, 필드 평탄도 0.2" m, 스테이지 반복 능력 -0.5 "m을 갖습니다. 최대 900mJ/cm2의 고출력 레이저 노출 용량을 처리 할 수 있습니다. 생산성 및 처리량 향상을 위해 최대 1000 웨이퍼/시간 (wafer/hour) 까지 처리할 수 있습니다. NIKON NSR-2205I11D에는 사용자 편의성을 위해 직관적인 GUI를 갖춘 사용자 친화적 제어판이 있습니다. 이 시스템은 또한 자동 조정 (Auto-Tune) 과 같은 여러 가지 고급 기술과 통합됩니다. 자동 조정 (Auto-Tune) 은 장치의 매개변수를 자동으로 조정하여 정확도를 높이고 폐기물을 줄입니다. 또한, 통합 자동 레시피 (Auto Recipe) 기능을 사용하면 작업 초기화가 빨라지고 시스템 정밀도가 향상됩니다. 이 고급 웨이퍼 스테퍼에는 구멍 감지 및 추가 이미지 분석 기능을 제공하는 사전 설치된 Align-Checker 엔진이 제공됩니다. 또한 박막 영역의 처리 결함을 감지하도록 설계된 에지 감지 (Edge Detection) 기능이 제공됩니다. 유용한 또 다른 기능은 Serial Number Identity 로, 작업 번호 및 추적 코드를 사용자 정의할 수 있습니다. NSR 2205I11D 는 안정적이고 고성능 웨이퍼 스테퍼로, 반도체 디바이스 생산에 적합합니다. 고급 기능 (Advanced Function) 과 자동 (Automated) 기능은 생산성과 정밀도를 크게 향상시키는 반면, 직관적인 사용자 인터페이스는 매우 쉽게 사용할 수 있습니다.