판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #293799138
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ID: 293799138
Stepper
Total focus deviation: 0.263 µm
Astigmatism: -0.21 µm
Reticle blind: 0.5 mm to 0.7 mm
Focus calibration repeatability: 36 nm
Exposure power: 776.520 mW/cm²
Integrated exposure control: ≤1.0%
Illumination uniformity: 1.177%
Reticle rotation: 10 nm
Orthogonality: 0.074 sec
Wafer flatness: 0.89 µm
Inclination:
UR-LL: 0.051 µm
UL-LR: 0.006 µm
Pre-alignment repeatability:
X: 5.027 µm
Y: 6.615 µm
Y-Theta: 14.906 µm
Lens distortion:
X: 0.032 to 0.033 µm
Y: 0.026 to 0.020 µm
FIA Overlay:
X: 32 nm
Y: 28 nm
LSA Overlay:
X: 57 nm
Y: 31 nm
Stepping accuracy:
X: 22 nm
Y: 25 nm.
니콘 이11D (NIKON i11D) 는 반도체 장치 생산의 비용을 줄이고 효율성을 높이기 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 세계 최고의 반도체 제조업체가 신뢰할 수있는 고급 기술을 갖춘 최상위 웨이퍼 (Top-Tier Wafer) 스테퍼입니다. NIKON I 11 D에는 높은 정확도의 머시닝과 속도를 갖춘 내장 멀티 레이어 구조가 있습니다. 즉, 대용량 및 대용량 기판을 가장 높은 표준에 맞게 조정하고 처리할 수 있습니다. 이 최첨단 장비에는 고급 자동 반복 (auto-repeat) 메커니즘과 성능을 더욱 최적화하는 기판 역 정렬 메커니즘이 장착되어 있습니다. 또한 I11D는 수동 조정이 필요 없는 완전 자동화 프로세스를 자랑합니다. 생산성과 효율성을 극대화하는 다양한 기능을 제공합니다. 온보드 멀티 빔 레이저 모니터, 위치 감지 시스템 및 공정 제어 소프트웨어 (I 11 D) 를 통해 프로세스 정확도를 유지하면서 수동 교정이 필요합니다. NIKON i11D는 또한 빠른 트랙 레지스터 프로세스를 가지고 있으며, 일상적이고 새로운 기판 정렬 프로세스를 빠르고 안정적으로 만듭니다. 또한 자동 역류 (auto-reflux) 메커니즘과 기계의 원활한 작동을 보장하는 동적 열 제어 장치 (dynamic thermal control unit) 가 장착되어 있습니다. 마지막으로, NIKON I 11 D에는 쉽고 직관적인 작업을 위해 고급 사용자 인터페이스 및 소프트웨어가 제공됩니다. 사용자 친화적인 GUI (Graphical User Interface) 는 복잡한 프로세스를 단순화하고 정상적인 운영을 위한 지침을 제공하도록 설계되었습니다. 최신 기능과 기술을 포함하도록 소프트웨어가 지속적으로 업데이트됩니다. 결론적으로, i11D 는 생산성 및 신뢰성 향상을 위한 프리미엄 (Premium) 기능을 제공하는 최고의 웨이퍼 스테퍼입니다. 최첨단 기술로 성능을 최적화하면서 수작업 (manual adjustment) 의 필요성을 줄여줍니다. 사용자 인터페이스 (User Interface) 와 소프트웨어 (Software) 는 최신 동향 및 기능에 부합하므로 사용 및 이해가 용이합니다. I 11 D는 고정밀 어플리케이션에 이상적이며, 최상의 품질의 결과를 제공할 수 있습니다.
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