판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #293763395

NIKON NSR 2205 i11D 웨이퍼 스테퍼는 반도체 장치 제조에 사용하도록 설계된 정밀 리소그래피 기기입니다. 최소 해상도는 0.28 미크론이고 최대 노출 면적은 220mm x 220mm입니다. NIKON NSR-2205I11D는 독점 ADC (Applied Dose Control) 자동 노출 장비를 사용하여 노출 조건에 관계없이 반복 가능하고 정확한 노출 결과를 보장합니다. 정확한 패턴 등록 및 정렬을 위해 NSR 2205I11D에는 듀얼 레티클 자동 초점 시스템이 장착되어 있습니다. 이 견고한 장치에는 수동 (manual) 및 자동 검색 (auto search) 모드가 있으며, 작은 시야로 대상 패턴을 빠르고 쉽게 얻을 수 있습니다. 정렬 정밀도 추정치는 0.1 미크론 (3 시그마) 입니다. 11 인치 프로젝션 옵틱과 NIKON 고급 5X 진동 감소 머신을 갖춘 NIKON NSR 2205 I 11 D는 배율 단계당 2.2 um 크기의 프로젝션 필드 크기를 갖습니다. 미니 투영 광학을 사용하면 도프 (DOF) 깊이가 줄어든 더 넓은 영역에서 더 높은 해상도 패턴을 만들 수 있습니다. 프로젝션 렌즈의 확대/축소 범위는 0.2 ~ 3.0이며 초점 범위는 0.1 ~ 4.2 mm입니다. NSR-2205I11D 는 "측면 이동 기능 (lateral shift capability)" 을 사용하여 이러한 범위의 배율을 활용할 수 있으며, 동일한 마스크를 척 (chuck) 을 완전히 회전시키지 않고도 다른 배율로 사용할 수 있습니다. 처리량 측면에서, NSR 2205 I11 D는 0.6 초의 단계 시간과 0.2 초의 노출 시간을 갖는 낮은 트랙 시간을 특징으로합니다. 높은 패턴 균일성을 가진 NIKON NSR 2205I11D는 오염 및 재작업 (Rework Operation) 이 적은 우수한 제품 수율을 생산할 수 있습니다. 또한 고급 정렬 (Advanced Alignment) 및 오버레이 (Overlay) 기능을 통해 높은 수준의 제품 배치 정확도와 배치 복제를 수행할 수 있습니다. 이를 통해 비용이 많이 드는 레티클 (reticle) 정렬을 피할 수 있으며, 이는 비용 효율을 높이는 데 도움이됩니다. 요약하자면, NSR-2205 I11 D 웨이퍼 스테퍼는 다양한 생산 조건에서 우수한 결과를 낳도록 설계된 고급 석판화 도구입니다. NSR 2205 I 11 D는 작지만 견고한 프로젝션 렌즈, 듀얼 레티클 자동 초점 자산 및 고급 5X 진동 감소 모델을 갖추고 있으며, 최대 0.28 미크론 해상도와 0.6 초의 스텝 타임, 0.2 초의 노출 시간. 이는 뛰어난 정렬과 오버레이 (overlay) 정확도와 더불어, 장치 제작에 이상적인 선택입니다.