판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #293691303

NIKON NSR 2205 i11D는 반도체 제작을위한 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 I-line 축소 렌즈 장비, F2 Control Auto Life Safety 기능, 고해상도 및 처리량, 향상된 전송 특성을 위한 새로운 C1 최적화 기능이 있습니다. 이 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 375nm에서 450nm 사이의 광원과 작동하여 가장 현대적인 photolithography 프로세스를 적용하는 데 적합합니다. 0.1 mJ (100mW) 에서 5mJ (5000mW) 이상까지 광범위한 노출 값을 제공합니다. 또한, 스테퍼는 총 11 개의 시야를 가지며 3 차원 Nyquist 매칭 및 이진 인코딩이있는 총 9 개의 채널을 자랑하므로 모든 사이트의 선택적 노출이 가능합니다. NIKON NSR-2205I11D의 중심에는 자동 매팅 정렬 감지 및 미세 조정 추적 시스템을 갖춘 6 채널 광선 (6 channel beam of light) 이 있어 모든 패턴 필드 포인트를 정확하게 정렬할 수 있습니다. 스테퍼 헤드 (stepper head) 에는 더 높은 높이의 정확도를 얻기 위해 패턴 필드의 정확한 위치를 지정하기위한 레이저 간섭계 (laser interferometer) 가 장착되어 있습니다. 또한 NSR 2205I11D 는 견고하고 견고하게 장착된 구성 요소와 통합 웨이퍼 카세트 (wafer) 카세트 (cassette) 배송 장치 때문에 뛰어난 반복성과 신뢰성을 제공합니다. 스테퍼 헤드 (Stepper Head) 는 저진동 환경에서 작동하여 모든 중요한 컴포넌트가 여전히 안정적으로 유지되므로 처리량이 높고 인쇄량이 적습니다. 전반적으로 NSR-2205I11D 는 탁월한 성능, 뛰어난 반복성, 광범위한 유틸리티를 제공하여, 반도체 생산에 이상적인 툴입니다. 스테퍼의 고해상도 (high resolution) 와 처리량 (throughput), 총 보기 (total of view) 및 최적화 제어 머신은 뛰어난 수준의 제어, 정확성 및 유연성을 제공합니다. 게다가, 낮은 진동 환경과 우수한 습식 결과는 낮은 수율 손실을 달성하는 데 유익합니다.