판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #293619535

NIKON NSR 2205 i11D는 반도체 및 나노 기술 산업의 고급 볼륨 생산 요구를 지원하도록 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 스테퍼는 신뢰성이 높고, 정확하며, 빠르며, 처리량이 많은 사전 생산 및 마이크로 일렉트로닉 장치의 볼륨 생산에 이상적입니다. 스테퍼에는 다른 모델보다 성능이 훨씬 뛰어난 다양한 기능이 있습니다 (영문). NIKON NSR-2205I11D의 광학은 기판에 전자와 광자를 적용하기 위해 고급 독점 광학 기술 (Advanced Proprietary Optics Technique) 을 사용합니다. 이렇게 하면 최소한의 오염 또는 왜곡으로 패턴을 정확하게 배치할 수 있습니다. 스테퍼는 또한 빠른 단계 이동, 정확한 정렬 및 빠른 노출을 제공합니다. 스테퍼에는 정확성과 일관된 반복 성에서 최대 1.5 ° m/sec까지 이동할 수있는 3 가지 단계가 있습니다. 이렇게 하면 기판 에 정확 하고, 신속 히 "패턴 '을 정확 하고 균일 한 방법 으로 배치 할 수 있다. 이 스테이지에는 웨이퍼 스테퍼링 중 소음 및 EMI 간섭을 줄이기 위해 낮은 EMI 필터 디자인도 있습니다. 스테퍼는 뛰어난 정확성과 반복 성을 제공하는 고급 CCD 정렬 장비를 사용합니다. 이 자동 수정 시스템은 잘못된 정렬을 보상하여 스테퍼를 안정적으로 만듭니다. 이 장치는 또한 기판 높이를 모니터링하여 각 패턴 레이어에 대한 최적의 조건을 유지합니다. NSR 2205I11D 스테퍼는 강력한 웨이퍼 핸들러 및 기판 포지셔닝 시스템을 사용합니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 최대 5 개의 6 인치 웨이퍼를 제어 할 수 있으며 기판의 상단 및 하단 면에 재료를 직접 배치 할 수 있습니다. 기판 위치 지정 도구 (Substrate positioning tool) 는 최대 9mm/sec로 기판을 이동할 수 있으며, 이를 통해 재료를 정확하게 배치할 수 있습니다. 전반적으로 NIKON NSR 2205 I11 D는 반도체 및 나노 기술 산업의 고급 볼륨 생산 프로세스의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 탁월한 옵틱, 빠른 단계 이동, 정확한 정렬, 유연한 웨이퍼 핸들러, 기판 위치 에셋을 통해 처리량이 많은 생산 전 (pre-production) 및 생산 프로세스에 이상적인 선택이 가능합니다.