판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #293607244

NIKON NSR 2205 i11D는 NIKON에서 제조 한 최고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 완전 자동 정밀도 정렬 장치 (Fully-Automated Precision Alignment Machine) 로 웨이퍼 노출을 정확하게 제어할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 에는 최적화된 광학 장비와 모션 컨트롤 시스템이 장착되어 있어 미세 (fine) 와 높은 (high) 노출 처리를 위한 효율적인 도구입니다. 정밀한 광학 장치 (optics unit) 는 노출 매개변수의 편차를 줄이고 처리량과 수율을 모두 최적화하는 고르게 노출 된 표면을 보장하도록 설계되었습니다. 이 장치는 마스크를 웨이퍼 (wafer) 에 투영하고 정확한 노출 설정을 사용하여 웨이퍼 (wafer) 표면에 패턴을 생성합니다. 그런 다음 투영 된 패턴이 투영 영역을 움직이는 스테퍼 모터 (stepper motor) 를 사용하여 웨이퍼에 적용됩니다. NIKON NSR-2205I11D에는 정확한 위치 피드백을 제공하는 인코더와 연결된 고정밀 서보 모터가 포함되어 있습니다. 이 조합을 사용하면 정확한 노출 설정과 최적화된 정확도 수준을 사용할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼는 최대 8 인치 웨이퍼를 처리할 수 있으며, 최대 패턴 정확도는 1.9um (1Ã인치) 의 노출 각도에서 1.9um입니다. NSR 2205I11D 는 긴 수명, 안정적인 설계, 짧은 유지 관리 시간 덕분에 다운타임 및 유지 보수 비용을 절감할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 스테퍼가 교정 (calibration) 되지 않은 경우에도 정밀한 정렬을 보장하는 자동 사전 정렬 (pre-aligner) 이 특징입니다. 이 장치에는 사용자 친화적 인 인터페이스 (user-friendly interface) 와 다양한 입력/출력 옵션 (control 및 monitoring) 이 장착되어 있습니다. 이 시스템은 이더넷 연결을 통해 다른 NIKON 시스템에 연결할 수도 있습니다. NSR 2205 I11 D 는 정확하고 안정적인 노출 처리 및 향상된 처리율을 제공하는 포괄적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 최적화된 Optics Machine 및 Motion Control Tool은 최적의 패턴 정확성과 안정성을, 고정밀 모터 및 인코더는 정밀한 정렬을 지원합니다. 장기간의 안정성과 낮은 유지 관리 비용을 위해 설계된 NSR 2205 i11D 는 까다로운 노출 프로세스 어플리케이션을 위한 완벽한 스테퍼입니다.