판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #293606711
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ID: 293606711
Stepper
Resolution: 0.35
NA: 0.63
Exposure wave length: i-Line
Reduction: 1/5
Expose field: 22 x 22 - 17.9 x 25.2.
NIKON NSR 2205 i11D는 반도체 장치 제작 및 기타 웨이퍼 제작을 위해 설계된 고성능 스테퍼입니다. 스테퍼는 0.2 ~ 45.0의 매우 광범위한 노출 변화를 통해 정확하고 반복 가능한 마이크로 패브레이션 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 스테퍼는 또한 0.05 "m '의 매우 낮은 정렬 위치 정확도를 자랑하며, 이는 고정밀 처리 및 고급 기술 개발 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다. NIKON NSR-2205I11D 는 독자적인 이미지 중심 장비로, 광범위한 노출 필드와 기판 크기에 대한 정밀한 정렬 및 위치 정확성을 보장합니다. 중심 시스템은 또한 매우 정확하고 반복 가능한 성능을 제공하기 위해 기판 뒤틀기, 운동 유도 위치 오류 및 레티클 리프레시 디포커스 (reticle refresh defocus) 를 보상합니다. 스테퍼에는 지능형 측정 장치 (Intelligent Measuration Unit) 가 장착되어 있어 단일 노출 중 자세한 웨이퍼 관찰, 평가 및 피드백을 제공합니다. 간단하고 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 NSR 2205I11D 를 간편하게 사용하고 관리할 수 있습니다. 사용자 친화적 제어 (User Friendly Control) 섹션을 통해 모든 스테퍼 (Stepper) 매개변수에 대한 빠르고 직관적인 액세스와 다양한 처리 조건에 대한 자세한 보정 및 유지 관리를 수행할 수 있습니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 는 시각적 처리 검토 및 추적 기능을 통해 간단한 설정 및 제어를 위한 자동화된 레시피를 지원합니다. NIKON NSR-2205 I 11 D의 또 다른 중심 기능은 고급 광학 머신으로, 뛰어난 명암과 선명한 이미지를 가진 깨끗한 이미징 필드를 제공합니다. 단계 이동 (Phase Shifting) 기술을 사용하여 스테퍼는 결함 밀도가 매우 낮고, 큰 노출 분야에 비해 높은 명암으로 포토 마스크 (photomask) 를 생성 할 수 있습니다. 또한, 고속, 저전력 검사 기능을 통해 시간당 최대 4.5 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 스테퍼의 내장 온도 보상 및 광범위한 작업 영역은이 기능을 더욱 향상시킵니다. 전반적으로, NSR 2205 I 11 D는 반도체 장치 구성 및 기타 웨이퍼 프로세스에서 정확하고, 고품질의 결과를 제공하기 위해 강력하고, 안정적이며, 다재다능한 스테퍼입니다. 특히 낮은 정렬 위치 정확도 0.05 (m) 로 신뢰성이 높으며, 시간당 최대 4.5 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. NSR-2205 I11 D 는 간편하고 사용이 간편한 사용자 인터페이스 (user interface) 와 고급 옵티컬 툴 (optical tool) 을 통해 매우 정밀하고 첨단 기술 개발 애플리케이션을 위한 탁월한 선택입니다.
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