판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #293587579

NIKON NSR 2205 i11D
ID: 293587579
Stepper.
NIKON NSR 2205 i11D는 반도체 생산 프로세스에 사용되는 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로 웨이퍼에 패턴을 표시하여 빛에 노출시킵니다. 최신 집적 회로 (integrated circuit) 설계의 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계된 고급 노출 도구입니다. 특허를 획득한 첨단 프로젝션 렌즈 (advanced projection lens) 어셈블리를 활용하면 고성능 모바일 장치를 지원하는 최고 0.26m 라인의 너비를 가진 반도체 기하학에서 미묘한 디테일의 크리스탈 클리어 이미징 (crystal clear imaging) 이 가능합니다. NIKON NSR-2205I11D에는 업계 최고의 고해상도 High-NA 렌즈, SRAF (Sub Resolution Assist Feature) 및 핫스팟 보상 기능 (Heps) 기술과 같은 NIKON 최신 석판 기술이 장착되어 있습니다. 이러한 기능을 사용하면 웨이퍼 (wafer) 생산에 소요되는 시간과 비용을 절감할 수 있고, 높은 수량의 디바이스를 얻을 수 있습니다. 또한 새로 구현 된 UV 간섭 필터 (UV Interference Filter) 를 통해 깨끗하고 안정적인 조명 소스를 제공하며, 이로 인해 오버레이 이동을 일으킬 수있는 플레어 (Flare) 및 스트레이 광원이 제거됩니다. 이는 패턴 결과의 대조 배급이 향상되는 데 기여합니다. NIS 시리즈 트랙 시스템 (Track System) 에는 작은 설치 공간이 있어 청소 공간 (Clearroom) 에 맞출 수 있습니다. 새로운 "모델 '은 작은 크기 로 융통성 이 있고 민첩성 이 있어서 생산" 라인' 의 여러 가지 작업 사이 를 신속 히 움직 일 수 있다. 따라서 빠른 작업 전환, 유휴 시간 단축, 효율성 향상에 이상적입니다. NSR 2205I11D 는 2 개의 포트 셔터 (shutter) 설계를 통해, 빠르고, 안정적이며, 다양한 프로세스를 신속하게 조정할 수 있습니다. 따라서 이미징 품질이 우수하고 처리량이 높아집니다. 또한, NSR 2205I 11D는 웹 원격, 미러 이미지 및 2 개의 셔터 변형과 같은 고급 작동 기능으로 설계되었습니다. 이러한 기능을 통해 사용자는 각 로트에 대한 노출 매개변수를 사용자 정의할 수 있으므로 높은 수율 (High Yield) 을 보다 쉽고 효율적으로 얻을 수 있습니다. 전반적으로 NSR-2205 I 11 D는 고급 웨이퍼 스테퍼로 크리스탈 클리어 이미징 (crystal clear imaging), 탁월한 처리 속도, 빠른 작업 전환 기능을 제공하여 반도체 생산에 이상적인 도구입니다. 첨단 기술과 운영 (operation) 기능을 통해 최적의 성능과 우수한 결과를 제공할 수 있습니다.
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