판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11D #293587312

NIKON NSR 2205 i11D는 반도체 장치의 대량 생산을 위해 설계된 풀 필드 i 라인 스테퍼입니다. NIKON original i-line optics, full-field alignment equipment, precision stage, multi-zone auto-temperature control system 및 auto-calibration 기술과 같은 매우 정교한 기술을 활용하여 뛰어난 오버레이 정확도를 제공합니다. NIKON NSR-2205I11D 스테퍼는 5nm (45nm 피치) 까지 해상도를 제공하며 빠른 단계와 반복 시간을 가능하게 하는 인열 스캐닝 기술을 갖추고 있습니다. 또한 고급 하드웨어/소프트웨어 덕분에 TCO (총소유비용) 를 절감할 수 있는 고가용성을 제공합니다. 광학적으로 NSR 2205I11D는 투사 각도 및 렌즈 기울기 각도를 자동으로 조정하여 이미지의 최적의 정렬을 보장하는 전체 필드 정렬 머신을 활용하는 [반음계 수차 없음] (Chromatic Aberration-free) 광 장치를 사용합니다. 광학 도구에는 고정밀 포커싱을 보장하는 레이저 간섭계도 포함됩니다. 또한 스테퍼에는 레인지 파인딩 레이저 (range-finding laser) 옵션이 장착되어 있어 이미징을 시작하기 전에 렌즈를 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 스테퍼의 다중 영역 자동 온도 제어 (Multi-Zone Auto-Temperature Control) 자산은 스테이지의 온도를 최적화하고 서브 미크론 수준에서 뛰어난 이미징 안정성을 가능하게하므로 초정밀 이미징 및 리소그래피에 적합합니다. 또한, 다중 영역 웨이퍼 척 (multi-zone wafer chuck) 은 안정적인 웨이퍼 레벨링을 제공하며 모든 이미징 단계 전에 웨이퍼를 검사하여 반복 가능하고 일관된 이미지를 제공합니다. 또한 NSR 2205 i11D 에는 고급 소프트웨어가 장착되어 있어 자동화되고 최적화된 설치 처리가 가능합니다. 스테퍼에는 최적의 이미지 품질을 보장하기 위한 자동 디포커싱 (auto-defocusing), 최고의 프로세스 반복성 및 오버레이 정확도를 달성하기 위한 완전 자동 초점 조정 알고리즘 (Fully Automated Focus Adjustment Algorithm) 및 자동 교정 기술 (Auto-Calibration Technology) 을 포함한 다양한 교정 기능이 장착되어 있습니다. 전반적으로 NIKON NSR-2205 I11 D는 고급 I-Line Optic, 전체 필드 정렬, 범위 찾기 레이저, 자동 온도 제어 및 정밀 소프트웨어 알고리즘을 사용하여 높은 정확성, 반복 가능성 및 낮은 소유 비용을 보장하기 때문에 대량 생산 반도체 장치 제조에 적합합니다.