판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11C #9224439

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ID: 9224439
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1995
Stepper, 6" 1995 vintage.
NIKON NSR 2205 i11C Wafer Stepper는 반도체 장치의 포토 마스크 패턴을 위해 설계된 고급 석판화 장비입니다. 이 고성능 시스템은 고해상도 및 오버레이 균일성을 위해 설계된 혁신적인 특허 출원 중인 광 (optical) 열을 제공합니다. 이 제품에는 NIKON iFC (Next Generation Intelligent Focus Control) 가 장착되어 있어 정확한 초점을 유지하면서 미세 기능을 이미징 할 수 있습니다. 이 장치에는 표준 4 "웨이퍼 크기 용량과 최소 4.5 nm의 기능 크기가 있습니다. 센서 제어, 고정밀 웨이퍼 척 (wafer chuck) 및 갈보 스캐너 (galvo scanner) 를 사용하여 탁월한 정확성과 반복 성을 제공합니다. 독특한 강도 균일성 제어를 제공하는 고도로 전문화 된 조명기와 함께 제공됩니다. 광범위한 렌즈 구성은 다양한 패턴화 기능을 제공합니다. 또한, 이 도구에는 자동 작업 레시피 작성, 검증 및 조정을 제공하는 NIKON 사용자 친화적, 직관적인 소프트웨어도 포함되어 있습니다. NIKON NSR-2205I11C Wafer Stepper는 안정적이고 저렴한 생산성을 위해 최상의 성능과 유연성을 제공합니다. 정확하고 반복 가능하며 신뢰할 수 있습니다. 직관적인 소프트웨어는 작업 및 반복 가능한 결과를 더욱 자동화하여 지루한 수동 작업 (manual work) 을 제거합니다. 에셋은 사용자 친화적이며, 사용자가 쉽게 소프트웨어를 탐색하여 시뮬레이션 결과 (simulation results) 와 매개변수 (parameter) 설정을 보고 수정할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 프로세스 최적화 및 생산성 향상에 기여하는 정교한 프로세스 제어 및 진단 기능을 제공합니다. NSR 2205 I 11 C Wafer Stepper는 대용량 운영 요구를 충족하기 위한 최적의 선택입니다.
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