판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11C #9224341

NIKON NSR 2205 i11C는 이미징 프로세스에 ArF (Argon Fluoride) 레이저 리소그래피를 사용하는 웨이퍼 스테퍼 머신입니다. 이 기계는 반도체 소자 제조, 특히 현대적인 복잡한 디자인의 생산을 위해 설계되었습니다. 현재 리소그래피 디자인의 전체 범위에서 우수한 이미징을 제공합니다. NIKON NSR-2205I11C는 2 개의 ArF 레이저 광원을 중심으로 구축되었습니다. 이 레이저 광은 193nm 파장으로 인해 우수한 해상도와 교차 오염 방지 기능을 제공합니다. "레이저 '빛 은" 레티클' 쪽 으로 향하는데, 이것 은 불투명 한 무늬 를 가진 얇고 투명 한 판 이다. 레티클 플레이트의 패턴은 웨이퍼에 원하는 패턴을 정의합니다. 레티클은 2 렌즈 콘덴서 아래의 교정 테이블 (calibration table) 에 보관되어 있으며, 이는 레이저 빛을 웨이퍼에 집중시킵니다. NSR 2205 I 11 C의 웨이퍼 스테이지는 웨이퍼 자체의 정확한 이동 및 위치를 위해 설계되었습니다. 위치 정밀도는 ± 1m이고 최대 웨이퍼 크기는 200mm입니다. 웨이퍼 스테이지에는 정확한 조정 측정을위한 Zeiss primoStar HD 자동 정렬 시스템이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 무대 위 에 있는 "웨이퍼 '를 정확 히 등록 할 수 있으며, 이것 은" 레티클' 에서 "웨이퍼 '에 이르는" 패턴' 을 정확 하게 정렬 할 수 있다. NIKON NSR 2205 I 11 C에는 위상 이동 표시, 학생 변형, 링 패턴 및 정렬 표시를 포함한 다양한 정렬 표시가 있습니다. 이러한 기능을 사용하면 투영 리소그래피 프로세스 중에 사진 마스크를 웨이퍼 (wafer) 에 정확하게 정렬할 수 있습니다. 또한, NSR 2205 i11C 의 자동 초점 기능 (auto-focusing) 은 웨이퍼에 인쇄되는 사진 마스크의 패턴이 정확하고 일관되게 생성되도록 합니다. 또한 NSR-2205I11C 는 사용하기 쉬운 GUI 를 제공합니다. 또한 미리 정의 된 정렬 및 노출 레시피 라이브러리가 있으며, 이를 저장하고 검색 할 수 있습니다. 또한, 이 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 에는 프로세스 및 환경 조건을 정확하게 모니터링하는 데 사용할 수있는 일련의 스마트 센서가 있습니다. NIKON NSR 2205 i11C는 정확한 이미징 및 정렬 기능으로 인해 반도체 장치 제조를 위한 효율적이고 안정적인 도구입니다. 2 개의 ArF 레이저 광원은 뛰어난 해상도를 제공하는 반면, Zeiss primoStar HD 자동 정렬은 정확한 웨이퍼 포지셔닝 및 정렬을 보장합니다. 스마트 센서 (Smart Sensor) 와 GUI (GUI) 는 사용자 제어를 강화하고, 사전 정의된 레시피는 복잡한 디자인의 생산을 돕기 위해 빠르고 효율적으로 구현합니다.