판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11C #9134651

NIKON NSR 2205 i11C는 반도체 장치의 미세 구조화 된 구성 요소를 효과적으로 처리하는 데 사용되는 고급 웨이퍼 스캐닝 스테퍼 모델입니다. 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 웨이퍼 정렬과 다양한 작동 조건을 쉽게 설정할 수 있습니다. NIKON NSR-2205I11C (High-Resolution Spot Array Detector, High-Precision Optic 및 F.A.S.T. (Fully Automated Resist) 포지셔닝 장비의 조합을 통해 뛰어난 처리량과 정확도를 제공하도록 설계되었습니다. NSR 2205 I 11 C는 최대 32 ° m 패턴 스텝 크기를 측정 할 수있는 고해상도 스팟 어레이 검출기를 사용합니다. 이렇게 하면 스테퍼가 웨이퍼 (wafer) 에 있는 패턴을 정확하게 감지하고 후속 이미징 프로세스에 대한 정확한 배치를 활성화할 수 있습니다. 또한, 스팟 어레이 (spot array) 검출기에 최적화된 고정밀 광학 시스템과 위치 변경으로 인한 정렬 오류를 최소화하는 풀 필드 마스크 정렬 장치 (full-field mask alignment unit) 가 특징입니다. 또한, NSR-2205I11C의 저항 포지셔닝 머신 (resist positioning machine) 은 웨이퍼와 강화 척 사이의 공기 간격을 제거하여 최적의 결과를 보장함으로써 정확한 정확성을 보장합니다. NSR 2205 i11C는 다양한 응용 프로그램을 보유하고 있으며 검사 및 정렬, 웨이퍼 박막, 범프 검사, 박막 검사, 레이저 마이크로스피어 검사 등 다양한 유형의 이미징 프로세스에 사용할 수 있습니다. 또한 고급 자동화/제어 (Automation and Control) 기능을 통해 설치 및 성능을 더욱 쉽고 빠르게 구현할 수 있습니다. 또한, 스테퍼는 고출력 빔 스팟 크기와 위치를 효율적으로 관리하는 통합 입자 빔 스캐너 (integrated particle beam scanner) 와 함께 제공되며, 제안 된 구조에서보다 정밀한 이미징을 제공합니다. 마지막으로 NIKON NSR 2205 I 11 C는 운영자의 안전성과 안정성을 보장하는 충분한 안전 기능을 제공합니다. 저전압 (Low Voltage) 작동을 위해 설계되었으며, 정전된 전원 중단 방지 (Interruption Protection) 기능을 제공하여 전원 장애 시 손상 또는 오작동 위험을 없앨 수 있습니다. NIKON NSR 2205 i11C에는 긴급 정지 스위치 (Emergency Stop Switch) 와 먼지 및 잔해 인클로저 (Dust and Debris Enclosure) 가 장착되어 있어 번거로운 운영 및 환경 보호를 보장합니다.