판매용 중고 NIKON NSR 2205 i11C #293616666
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ID: 293616666
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1995
Stepper, 6"
Type II wafer loader
Left and right carriers loading
High and low pressure: 8 kgf/cm²
Reticle loader:
Mask size, 6"
Reticle library: 33 mm
Reticle stage:
RA Microscope (Moveable)
Position: 20 mm
FIA
LSA
Monitor
Interferometer type: 5517 B
1995 vintage.
NIKON NSR 2205 i11C는 사진 촬영 마스크 및 평면 패널 디스플레이 제작을 위해 설계된 라인 웨이퍼 스테퍼 상단입니다. 이 모델은 350mm 크기의 웨이퍼 제조 (wafer of manufer) 를 위해 특별히 설계되어 고정밀 장치 생산에 이상적인 기계입니다. NIKON NSR-2205I11C 는 마스크 제작뿐만 아니라, 웨이퍼 (wafer) 제작 과정의 단계를 노출 및 개발할 수 있습니다. 이 웨이퍼 스테퍼에는 고해상도 이미징을 위해 설계된 회절 제한 프로젝션 렌즈가 있습니다. 이 프로젝션 렌즈는 높은 NA 렌즈, 고성능 소프트웨어 플랫폼 및 CCD 카메라의 조합으로 만들어집니다. 이 세 가지 구성 요소의 조합으로, 웨이퍼 스테퍼는 서브 미크론 수준의 정확도를 유지할 수 있습니다. 머신 레티클 스테이지의 관점에서, NSR 2205 I 11 C는 그 종류의 더 진보 된 모델 중 하나로 간주됩니다. 기울기 (tilting), 회전 (rotating) 및 확대 (zooming) 기능을 갖춘 레티클 단계는 다양한 제품 요구에 맞게 조정이 가능합니다. 또한, 여러 가지 이미징 모드가 컴퓨터에 내장되어 있어, 사용자가 제품에 가장 적합한 모드를 선택할 수 있습니다 (영문). 이러한 모드에는 직선 스캐닝 모드, 원 스캐닝 모드, 웨이퍼 스캐닝 모드 및 정전기 래싱 모드가 포함됩니다. 생산성 측면에서 NIKON NSR 2205 I 11 C는 동급 최고의 모델 중 하나로 간주됩니다. 고속 스캐닝 속도 (high-speed scanning speed) 를 통해 스테퍼는 다른 모델보다 빠른 속도로 작업의 각 단계를 완료할 수 있습니다. 또한, 스테퍼는 사용자 개입 없이 작업을 완료할 수 있도록 자동화된 프로세스로 로드됩니다. NSR-2205I11C는 상당한 투자가 필요하지만 그만한 가치가 있습니다. 이 최고급 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 정확하고 쉽게 웨이퍼를 제조하려는 개인 및 기업에게 이상적인 기계입니다.
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