판매용 중고 NIKON NSR 2205 i10C #9100801

NIKON NSR 2205 i10C는 고도의 소형 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 "웨이퍼 '스테퍼' 는 반도체" 마이크로프로세서 '의 광석판 생산 을 효율적 이고 정확 하게 조정 하도록 설계 되었다. 완전 밀폐형 (Fully Closed) 옵티컬 장비, 고성능 토크 드라이브 시스템 (High-Torque Drive System), 고속 스캔 속도 (Fast Scan Rate) 등을 갖추고 있어 지정된 작업에 매우 효율적입니다. NIKON NSR-2205I10C는 정확한 정렬을 위해 2차원 정렬을 제공합니다. 여기에는 마스크에서 이미지를 캡처하는 이미지 센서, 최고 스캐닝 속도 (scanning speed) 에서 고해상도 (leveling) 및 낮은 불규칙성 (referulity) 을 갖는 낮은 평면 내 왜곡 단계, 부드럽고 정확한 세그먼트 회전을 보장하는 높은 입력 정확도 (input accuracy) 가 포함됩니다. 결정질 초점면 (crystalline focal plane) 은 리소그래피 환경에 맞게 넓은 시야와 뛰어난 초점 깊이를 제공하여 스캔 중 웨이퍼의 연약한 패턴을 보호합니다. NSR 2205 i10C 는 고속 (high-torque) 드라이브 장치를 사용하여 고속 및 정밀도에 맞게 웨이퍼를 정렬합니다. 이것은 두 가지 유형의 모터, 즉 BDM (Brushless Direct Coupled Motors) 과 SSM (Slitless Stepper Motors) 의 조합으로 제공됩니다. BDM 은 높은 위치 해상도, 부드러운 이동, 낮은 진동, 고속 및 무중단 위치 제어 기능을 제공합니다. 이 두 모터의 조합을 통해 NSR-2205I10C 는 높은 스캔 속도 (scan rate) 에서도 웨이퍼를 정확하게 정렬합니다. NIKON NSR 2205 i10C에는 미세 및 비행 지점 레이저 정렬 기계도 있습니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '의 위치 를 미세 하게 조정 할 수 있게 함 으로써 정렬 의 정확성 이 향상 된다. 이 도구는 잘못된 정렬을 신속하게 감지 및 수정하여 성공적인 석판 처리 (lithographic process) 를 보장합니다. NIKON NSR-2205I10C 는 photolithographic production 에서 wafer 를 정렬하고 배치하는 데 안전하고 비용 효율적인 수단을 제공하도록 설계되었습니다. 이 자산은 최대 0.3 ½ m 의 정렬 정밀도 (alignment precision) 를 달성하도록 설계되었으며, 효율적인 설계 및 정밀한 정렬 기능으로 복잡한 생산 환경에서 향상된 처리량을 지원할 수 있습니다.