판매용 중고 NIKON NSR 2205 i10C #9092314

NIKON NSR 2205 i10C
ID: 9092314
Steppers, 8" Standard resolution: 0.45um Variable field size: 20mm x 20mm (15/17 .5/20mm) Ultra high pressure mercury arc lamp Ball screw wafer stage Reticle library: 5" Extended wafer carrier table SHRINC 1 Computer hardware: Nikon NEST Alignment system: LSA & FIA Multipoint autofocus and leveling Chip leveling ASM measurement software Self Measurement Program (SMP).
NIKON NSR 2205 i10C는 반도체 반도체 제조 공정에 사용되는 고급 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 광학 기반의 자동 웨이퍼 스테퍼 (automated wafer stepper) 는 칩 생산에 사용되는 섬세한 석판 패턴을 몇 초 안에 웨이퍼로 정확하게 옮길 수 있습니다. 고급적이고 정교한 이미징 장비로 이러한 정확성을 구현합니다. NIKON NSR-2205I10C는 비전 시스템, 2 차원 스캐닝 장치, 대규모의 고정밀 스테이지, 고해상도 카메라 렌즈와 같은 구성 요소를 설계에 통합했습니다. 따라서 최적의 이미지 성능과 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 고해상도 이미징 카메라, 선형 스캔 머신 (Linear Scan Machine) 과 함께 작동하는 필드 렌즈 (Field Lens) 가 특징입니다. "카메라 '는" 로봇' 암 에 장착 되어 있어 시야 내 에서 자유롭고 쉽게 움직 일 수 있다. 필드 렌즈 (Field Lens) 는 또한 넓은 심도를 보장하며, 이는 세밀함과 평탄한 필드 (Flat Field) 의 잠재력을 가진 선명한 이미지를 보장합니다. 로봇 암 (robotic arm) 에 장착 된 고해상도 카메라 (High-resolution camera) 는 이미지를 고해상도로 연속적으로 가져와 빠른 웨이퍼 처리 및 노출이 가능합니다. 레이저는 빠르고 정확하게 다시 초점을 맞추어 완벽하게 집중된 이미지를 보장합니다. 2 차원 스캔 도구는 x 축과 y 축을 따라 스캔하여 최대 이미지 해상도를 허용합니다. NSR 2205 i10C 는 또한 컴퓨터로부터 웨이퍼 (wafer) 로 패턴을 정확하게 전송하도록 설계된 정교한 리소그래피 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 사용자는 이 소프트웨어를 사용하여 석판화 (lithography) 를 빠르고 효율적으로 수정할 수 있으므로 패턴이 정확합니다. 또한 NSR-2205I10C에는 여러 가지 안전 기능이 있습니다. "웨이퍼 '처리" 에셋' 에는 "웨이퍼 '가 오염 되지 않도록 보호 덮개 가 들어 있다. 가장자리 장벽은 웨이퍼가 잠재적 인 해를 입지 않도록 설계되었습니다. 비전 (vision) 모델은 플라즈마 환경을 지속적으로 모니터링하고 잠재적인 문제를 감지하도록 설계되었습니다. 마지막으로, 경보 (tilt-alarm) 가 있는데, 경보 (tilt-alarm) 는 장비에있는 동안 웨이퍼가 기울기 시작하면 운영자에게 경보하도록 설계되었습니다. 전반적으로 NIKON NSR 2205 i10C는 매우 정밀한 웨이퍼 처리 기능을 제공하도록 설계된 강력한 장비입니다. 이 제품은 정교한 이미징 시스템, 선형 스캔 장치 (Linear Scan Unit), 정교한 리소그래피 소프트웨어를 통해 정확성과 일관성을 보장합니다. 그 에 더하여, 여러 가지 안전 기능 이 갖추어져 있는데, 이것 은 "웨이퍼 '가 기계 속 에서 오염 되지 않도록 도와 준다.
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