판매용 중고 NIKON NSR 2205 G8 #152212

NIKON NSR 2205 G8은 NIKON STEP Wafer Stepper Series의 일부인 웨이퍼 스테퍼입니다. 그것 은 "반도체 '제조 의 광전도 단계 에 사용 되며" 실리콘' 이나 유리 "웨이퍼 '의" 포토레지스트' 로 레티클 '에서 회로 "패턴' 을 옮길 수 있게 한다. NSR 2205 G8 은 높은 광학 성능, 정확성 및 해상도를 제공합니다. NIKON NSR 2205 G8에는 Field Lens, Step Lens, Projector Lens, Image Scanning Assembly 및 Reticle을 포함한 5 개의 광 구성 요소가있는 광학 장비가 있습니다. [필드 렌즈] 는 오브젝트와 이미지 측면의 차이점에서 발생하는 수차를 수정합니다. 스텝 렌즈 (Step Lens) 는 레티클의 회로 패턴을 여러 위치로 전송하는 데 사용됩니다. 프로젝터 렌즈 (Projector Lens) 는 레티클 이미지를 큰 중간 크기의 서피스로 투사합니다. 또한 배율이 커서 정밀도가 높습니다. 이미지 스캔 어셈블리 (Image Scanning Assembly) 는 셔터 전송보다 약 15 배 빠른 정확도로 초고속 웨이퍼를 스캔합니다. 마지막으로, 레티클은 역방향 투영 이미징에 사용되어 정확한 정렬을 보장합니다. NSR 2205 G8에는 높은 정확도와 정확성을 보장하는 몇 가지 기능도 있습니다. 울트라 정밀 레티클 정렬 (Ultra Precision Reticle Alignment) 은 새로 개발 된 DAAS (Differential Auto-alignment System) 를 사용하여 정밀도를 극대화하기 위해 이동 가능한 단계를 정렬하기 전에 레티클 표면의 높이를 측정하고 수정합니다. 또한 자동 자동 초점 레벨 링 (Auto Autofocus Levelling) 이 있으며, 웨이퍼 표면의 변위를 측정하고 노출 전에 필요한 교정을 수행하여 초점을 조정하는 데 사용됩니다. 이를 통해 뛰어난 정확도로 고해상도 이미징을 구현할 수 있습니다. NIKON NSR 2205 G8은 또한 매우 최적화된 광원을 제공하여 가장 혁신적인 이미징 성능을 위해 장기적인 조명 균일성 (drift) 을 최소화합니다. 또한 에너지 효율을 극대화하는 에너지 절약 냉각 장치가 있습니다. 이 기계는 열전기 냉각 장치 (thermoelectric cooling unit) 와 열 교환기 (heat exchanger) 를 사용하여 급격한 온도 상승을 가능하게하므로 기존의 냉각 시스템보다 에너지가 적습니다. NSR 2205 G8은 또한 사용자 친화적 인 VARI-Exposure 인터페이스를 제공하여 온도, 습도, 주변 광원 변동과 같은 외부 영향으로 인해 불균일성을 줄이는 데 도움이됩니다. 따라서 극한의 환경에서도 이미지 품질이 안정적으로 유지됩니다. 또한, 최대 24 개의 다른 패턴을 동시에 인식 할 수있는 강력한 패턴 인식 도구 (pattern recognition tool) 가 있으며, 다양한 레티클을 지원합니다. 전반적으로 NIKON NSR 2205 G8 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 뛰어난 성능, 정확도 및 해상도로 다양한 웨이퍼 스테퍼 어플리케이션을 처리하도록 설계된 신뢰할 수 있는 정확한 장치입니다. 고급 기능은 안정적이고 반복 가능한 이미징 성능과 효율성, 에너지 절감 효과를 제공합니다.