판매용 중고 NIKON NSR 2205 EX14D #293817938
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ID: 293817938
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.65
Resolution: 250-400 nm
DCO: 40
Throughput (WPH): 99.
NIKON NSR 2205 EX14D 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 미세 구조 표면에 회로를 만드는 데 사용되는 고급 웨이퍼 리소그래피 장비입니다. 이 장비는 완전히 통합 된 컴퓨터 제어 4 단 웨이퍼 스캐너 스테이지 시스템을 갖추고 있으며, 이 시스템은 효율적인 작동 및 정확성의 토대가 됩니다. NIKON NSR-2205EX14D는 최소 선 너비 0.6m로 패턴 균일 성을 달성 할 수 있습니다. 정렬 정확도는 최대 0.8 m입니다. NSR 2205 EX14D에는 매우 밝은 NIKON 노출 장치가 포함되어 있으며, 고출력 UV 레이저 스팟 크기는 0.15 "m '이며, 최대 1k 피치 이상의 이미지 해상도를 달성하기 위해 정확한 노출이 있습니다. 이 기계에는 4 개의 다중 레벨 패턴화 및 웨이퍼 처리 프로세스와 온도, 가스, 엔드 포인트, 스캐닝 속도, 회전 각도 등 높은 수준의 제어 정확도가 장착되어 있습니다. NSR-2205EX14D에는 고유한 SPC1 소프트웨어 패키지로 구성된 최첨단 리소그래피 (lithography) 소프트웨어가 있으며, 사용자가 resist 노출 및 wafer 정렬 프로세스의 매개 변수를 프로그래밍, 분석 및 수정할 수 있으며 보고서를 생성할 수 있습니다. 또한 소프트웨어 (Software) 를 사용하여 다양한 최적화 알고리즘을 배포하여 생산된 각 샘플의 품질 제어를 보장할 수 있습니다. 이 도구는 16 채널 라인 생성기를 사용하여 결과를 더욱 확고히합니다. 보안 측면에서 NIKON NSR 2205 EX14D는 여러 잠금 메커니즘을 갖도록 설계 된, 매우 안전합니다. 또한, 자산에는 유해 화학 물질의 사용을 방지하는 아크릴 레이트 (PMMA) 컬러 필터 재료가 제공됩니다. 결론적으로, NIKON NSR-2205EX14D는 매우 정확하고 안전한 웨이퍼 스테퍼로, 주로 반도체 산업의 박막 전자 제품 및 미세 구조물 생산에 적합합니다. 4 단계, 매우 정확한 웨이퍼 스캐닝 모델, 강력한 Uv 레이저 및 SPC1 소프트웨어 패키지가 있어 정교한 기능이 가장 효율적입니다. 또한, 보안 메커니즘과 색상 필터를 통해 높은 수준의 보증을 제공합니다.
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