판매용 중고 NIKON NSR 2205 EX14C #9379629

NIKON NSR 2205 EX14C는 와퍼를 정확하고 균일하게 노출 할 수 있도록 설계된 최첨단 Wafer Stepper입니다. 14 인치, 5 미크론 해상도, 클래스 리더 몰입 광학 및 특허 몰입 렌즈가 특징이며, 초미세 패턴에서 극도로 제어하고 정확합니다. NIKON NSR-2205EX14C는 청소실 사용을 위해 설계되었으며, 최대 300mm 웨이퍼 크기를 처리하도록 최적화되었습니다. 최대 프로세스 안정성과 wafer-to-wafer 변형을 통해 높은 처리량을 달성 할 수 있습니다. 0.1nm의 반복 가능성으로 5nm의 정렬 정확도를 특징으로하며 10nm 구조의 1 회 노출을 제공합니다. NSR-2205 EX14C는 단일 스캔으로 2 차원 노출이 가능하도록 설계된 NIKON 전용 멀티 빔 광학 장비로 구동됩니다. 이 시스템은 또한 낮은 수차 이미징 및 투명 지역에 대한 높은 전송을 가능하게합니다. 부스는 혁신적인 6도 자유 싱글 암 (single-arm) 메커니즘을 사용하여 단일 ARM 필터 스캔 메커니즘을 구현하여 이미지 안정성과 정확도를 높입니다. 웨이퍼 스테퍼에는 다중 프로세스 이미지 캡처 및 병렬 이미지 처리를 지원하는 모듈식 I/O 보드도 있습니다. 이 장치는 처리량을 향상시키고 배치 간 일관성을 제공합니다. 스테퍼는 노출 시간이 제한된 고급 고해상도 CCD (고해상도 CCD) 카메라를 사용하여 품질이 저하되지 않고 처리 시간을 단축합니다. NSR 2205 EX14C 에는 레시피 스타일 구성에 대한 레시피 제어 작업도 포함되어 있으며, 여러 레시피에 대한 메모리 관리도 가능합니다. 또한 결함 노출 조건과 노출 매개변수를 감지하고 제거하는 검사 머신 (Inspection Machine) 도 포함되어 있습니다. 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 선택적 스테이지 스캐너 (Stage Scanner) 의 사용을 지원하므로 복잡한 구조에 대해 하나의 작업에서 완전히 노출 될 수 있습니다. 마지막으로, 다양한 액세서리와 소프트웨어를 사용하여 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 를 최대한 활용할 수 있습니다. NSR 2205 EX 14C는 정확하고 균일 한 처리를 달성 할 수있는 강력한 도구입니다. 초미세 패턴 (Ultra-Fine Pattern) 과 웨이퍼 (Wafer) 및 기타 기판의 투명 영역 생산에 이상적인 선택입니다.