판매용 중고 NIKON NSR 2205 EX14C #9375190

NIKON NSR 2205 EX14C는 고정밀 대용량 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 스테퍼는 고급 자동화와 향상된 저전력 소비량 (low-power consumption) 및 탁월한 생산성을 위한 새로운 단계 설계를 결합합니다. 중앙 구멍 및 정강이 표준 구성에서 8 인치 ~ 12 인치 직경의 웨이퍼 크기가 허용됩니다. 독특한 기능은 개선 된 롤오버 단계, 통합 열 플레이트 및 통합 광학으로 수행되는 HLAS (High-Level Automation Equipment) 입니다. 따라서 대용량, 고정밀도 어플리케이션을 위한 최적의 정밀도가 보장됩니다. 스테퍼에는 안정적이고 견고한 스캔 필드가 있습니다. 운영 안정성 향상을 위해 RAS (Robot Alignment System) 와 고속 정보 교환을 채택한 고속, 고해상도 모터 드라이브를 갖추고 있습니다. 또한 MRCS (Maximum Ripple Correction Unit) 가 장착되어 있어 정렬을 유지하면서 웨이퍼 변형을 교정할 수 있습니다. 따라서 초점 조정이 잦지 않고도 레이어 간 오버레이가 매우 정확해집니다. 스테퍼에는 정확한 위치화를 위해 개선 된 MCS (Motion Control Machine) 및 ALS (내장 정렬 도구) 와 0.25 마이크로 미터의 최대 3 차원 이외의 정렬 정확도가 있습니다. 또한 긴 노출 시간으로 결과를 개선하여 초점 깊이를 높였습니다. 그 결과, NIKON은 며칠 동안 업계에서 가장 높은 인덱싱 정확도와 안정적인 운영을 달성했습니다. 스테퍼에는 또한 입자 수준의 개선 된 조명 균일성 및 감소를위한 HIS (High-density Illumination Asset) 및 IC (High-Power Illumination Disable Curve) 가 있습니다. 또한 부식성 유체의 효율적인 자동 동요를 위해 설계된 NIKON FX (Exclusive Autoagitation & Etching) 를 갖추고 있습니다. 이로써 추가적인 인적 개입이 필요 없이 생산량을 향상시키고 운영 비용을 절감할 수 있게 되었습니다 (영문). NIKON NSR-2205EX14C 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 에는 최적의 구성 수율 및 장기 반복 가능성을 보장하기 위해 웨이퍼 조건을 모니터링하는 고급 프로세스 제어 장비도 있습니다. 이 시스템에는 패라메트릭 (parametric) 및 통계적 프로세스 제어 (statistical process control) 방법이 모두 장착되어 있어 신뢰성이 높은 결과를 제공합니다. 마지막으로, 균일 한 열 분배를 보장하고 장기간의 지속적인 작동을 통해 기계를 보호하는 쿨 다운 (cool-down) 메커니즘이 특징입니다.