판매용 중고 NIKON NSR 2205 EX14C #9273096

ID: 9273096
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1999
Stepper, 8" Reticle: 6" Reticle library: 10 Field size: 22 mm NA Variable Reduction ratio: 1/5 Pre alignment CCD Camera Particle detector type: PPD3 Wafer loader: Type 3 Multipoint AF (49 Channels) Inline: Right (ACT 8) EXCIMER ELS 5410 Laser Illumination: 1 kW FIA No LIA No periphery exposing Base kit: BASEEX502-0011C Highland type: Standard Chamber temperature: 23°C 1999 vintage.
NIKON NSR 2205 EX14C는 스캐닝 스테퍼로, 반도체 장치의 제작에 사용되는 기계입니다. 이 올인원 (All-in-one) 장비에는 웨이퍼 노출에 적합한 다양한 기능이 장착되어 있습니다. 전문가용 스테퍼는 고해상도 이미징 및 낮은 왜곡 이미징 (최대 6micron) 을 제공합니다. 최신 Fabrication 프로세스를 사용하는 하이엔드 프로세스 호환성을 위해 설계되었습니다. 또한, 시스템의 고급 모터 기술은 낮은 진동과 빠른 이미징 속도 (fast imaging speed) 로 긴 노출 시간을 허용합니다. NIKON NSR-2205EX14C에는 SPE (Single Pulse Exposure) 및 BBS (Broadcast Scanning Unit) 의 두 가지 노출 모드가 있습니다. 두 모드 모두 평면 패널 디스플레이 (flat-panel display) 및 반도체 장치의 높은 정확도 생산에 유용합니다. SPE 모드는 초점 깊이 제한없이 0.3 미크론 (미크론) 까지 높은 해상도를 제공하는 반면, BBS 모드는 노출 시간을 줄여 웨이퍼의 대규모 배치 (batch) 생산을 가능하게합니다. 스테퍼는 또한 레시피 관리 및 프로그래밍을 지원하여 프로세스 제어를 개선합니다. 이 소프트웨어는 Job Tracking, Overlapped Exposure Scanning, Automatic Exposure Focus Scanning 및 Image Matching과 같은 다양한 도구를 제공합니다. 이 시스템은 운영 및 유지 관리를 위해 사용자에게 친숙한 환경을 제공합니다. 직관적 인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 포함되어 있어 프로그래밍 시간을 최소화하고 웨이퍼 노출 중 단계를 확인할 수 있습니다. 또한, 이 도구에는 대형 안전 가드 (Safety Guard) 및 전동식 웨이퍼 배치 핸들러 (Motorized Wafer Batch Handler) 를 포함한 다양한 지능형 안전 기능이 포함되어 있습니다. 전반적으로 NSR-2205 EX14C 는 경제적이지만 고성능 웨이퍼 (wafer) 스테퍼 (stepper) 로서 다양한 애플리케이션에 고급 이미징 및 운영 기능을 제공합니다. 고급 기능과 직관적인 사용자 인터페이스 (user-interface) 를 갖춘 이 자산은 대규모 칩 생산에 이상적입니다.
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