판매용 중고 NIKON NSR 2205 EX14C #9251796

NIKON NSR 2205 EX14C는 반도체 장치 크기를 줄이면서 마이크로 전자 회로를 올바르게 정렬하도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 그것 은 "포토마스크 '를 위한 극히 정밀 한 무늬 를 만들어 낼 수 있는 고급 침수 석판화 장치 이다. 이 시스템에는 최신 몰입 광학 기술 (Immersion Optics Technology) 이 장착되어 있어 기존의 굴절 투영 광학 장치가 도입 한 수차를 줄입니다. 또한 정렬 정확도를 향상시키기 위해 매우 정확한 웨이퍼 스테이지와 고급, 높은 정확도의 피에조 (piezo) 카메라 머신이 특징입니다. NIKON NSR-2205EX14C의 최첨단 옵틱은 높은 웨이퍼 처리량을 제공하며 NA (수치 조리개) 는 1.35입니다. 광학은 전체 시야에서 높은 균일성을 보장합니다. x 방향으로 최대 10 x 10 mm, y 방향으로 6.2 um의 필드 크기가 가능합니다. 이 도구는 최대 180mm 직경의 웨이퍼를 x 및 y 방향으로 0.6 um 의 무대 반복 가능으로 패턴화하도록 설계되었습니다. 또한 스테퍼 (stepper) 또는 스캐너 연산 (scanner operation) 을 사용하여 다양한 노출 조건에 대해 3-15mm의 이미지 초점 범위를 자랑합니다. 또한 NSR-2205 EX14C 는 노출 및 기타 매개 변수를 제어하는 차세대 Windows XP 기반 사용자 인터페이스와 함께 제공됩니다. 이 사용자 인터페이스 (User Interface) 는 시스템 노출 조건에 대한 포괄적인 개요를 제공하여 설정을 빠르게 조정하고 정확한 결과를 보장합니다. 이 인터페이스에는 autofocus, auto reticle alignment 및 image correction과 같은 소프트웨어 도구도 포함됩니다. NSR 2205 EX 14C에는 웨이퍼 마크 리더도 내장되어 있습니다. 이렇게 하면 웨이퍼 (wafer) 에 새겨진 부품 번호가 올바르게 식별되고 에셋 로그에 안전하게 저장됩니다. 또한, 내부 부품 온도를 낮추고, 모델 안정성과 내구성을 향상시키는 고급 냉각 장치 (Advanced Cooling Unit) 가 장착되어 있습니다. 전반적으로 NIKON NSR 2205 EX 14C는 고급 반도체 장치 제조에 대한 정확한 정렬 및 패턴 정확성을 제공하도록 설계된 고급 석판화 장비입니다. 혁신적인 이미징 기술, 높은 정확도의 이미징 시스템, 사용자 친화적 인 Windows 기반 인터페이스, 내장 웨이퍼 마크 리더가 특징입니다. 로직 게이트 리소그래피 및 고밀도 상호 연결 배선과 같은 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다.