판매용 중고 NIKON NSR 2205 EX14C #9247817

NIKON NSR 2205 EX14C
ID: 9247817
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1999
Stepper, 8" 1999 vintage.
NIKON NSR 2205 EX14C 웨이퍼 스테퍼는 반도체 산업에서의 정확한 운영을 위해 설계된 최첨단 마이크로 제작 기계입니다. 이 스테퍼는 최고의 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로 간주되며 고급 정밀도 및 속도 제어를 통해 설계되었습니다. NIKON NSR-2205EX14C 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 5 축 정렬과 정확한 빔 포지셔닝을 위한 자동 정렬로 정확성과 다용성을 향상시키는 분할 필드 광학 장비를 갖추고 있습니다. 최대 노출 면적은 115mm x 115mm이며, 더 큰 다이 사이즈 응용 프로그램에 적합합니다. 5 배 축소 옵티컬 시스템은 상세 다이어그램을 위한 수축 기능을 제공합니다. 무채소 정렬 장치 (achromatic alignment unit) 는 낮은 수차를 유지하면서 웨이퍼의 매우 작은 패턴으로 높은 정확도를 보장합니다. 속도 측면에서, NSR-2205 EX14C는 시간당 최대 140 개의 웨이퍼의 높은 노출 속도를 갖습니다. 고급 전동식 스테이지 (Motorized Stage) 는 웨이퍼에서 빠른 스캐닝을 가능하게하며, 고속 범위 스위칭은 노출 (Exposure) 및 스캐닝 (Scanning) 작업을 신속하게 전환합니다. 고도로 정확한 온도 조절 머신과 결합된 자동 정렬 기능 (automated alignment feature) 은 모든 노출에 높은 정밀도 결과를 제공합니다. NSR 2205 EX14C는 2 개의 레이저 정렬 시스템을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 서브미크론 정확도 1nm로 웨이퍼를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 반자동 포커스 (focus) 자산을 통합하여 잘못된 초점을 줄이고 투사 품질을 최적화합니다. NIKON NSR 2205EX 14C 웨이퍼 스테퍼는 반도체 산업의 까다로운 요구를 충족시키기 위해 설계된 최고급 모델입니다. 고급 정밀도 (Precision and Speed Control) 가 장착되어 있어 노출 및 스캔 작업에 매우 높은 해상도를 제공합니다. 고급 정렬 시스템은 탁월한 정확성과 신뢰성을 제공하며, 반자동 초점 (semi-automated focus) 장비는 투사 품질을 최적화합니다. 5 배 감소 광학 시스템 (Reduction Optical System) 은 세부 다이어그램에 대한 수축 기능을 제공하며, 무채색 정렬 장치는 웨이퍼의 매우 작은 패턴으로 높은 정확성을 보장합니다. 전반적으로 NIKON NSR-2205 EX 14 C는 최고 수준의 성능이 필요한 작업에 이상적인 웨이퍼 스테퍼입니다.
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